【技术实现步骤摘要】
本技术涉及磁流体柱靶，具体为一种稳定性强的磁流体柱靶。
技术介绍
1、专利授权公告号为cn204385287u的技术专利公开了一种卧式旋转柱靶，包括机架，所述机架上设置有真空腔体及电机，所述电机固定在真空腔体外，电机的主动轴伸入真空腔体，并通过动密封件与真空腔体相连，所述真空腔体内设置有同步轴、靶材、支撑件及磁流体，所述靶材的两端分别于磁流体相连，所述靶材的中部由支撑件支撑，所述同步轴由主动轴带动转动，同步轴的转动带动靶材转动，新型结构的卧式旋转靶，充分考虑了靶的利用率、挠度等问题，使靶在镀制过程中不断缓慢旋转，既保证了靶的正常溅射，又最大限度的节约了材料，整个过程稳定、快速。
2、上述现有技术中，在磁流体柱靶的使用过程中，通过支撑轮对靶材的底部支撑，但靶材顶部不方便支撑限位，靶材转动时可能出现晃动不稳定的情况。因此需要进行改进。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种稳定性强的磁流体柱靶，解决了对靶材支撑不稳定的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种稳定性强的磁流体柱靶，包括腔体，所述腔体上固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有传动轴，所述传动轴与腔体转动连接，所述传动轴上通过齿轮啮合连接有同步轴，所述同步轴上通过齿轮啮合连接有靶材，所述靶材上设置有磁流体，所述腔体上接触有连接座，所述连接座分别与同步轴及靶材活动连接，所述连接座上设置有支撑机构，所述连接座上设置有连接机构。
3、优选的，所述支撑机构包括滚珠、第一弹簧、
4、优选的，所述第一弹簧的一端与连接座固定连接，所述第一弹簧的另一点与滑块固定连接。通过设计第一弹簧，使得第一弹簧的作用力可作用于滑块。
5、优选的，所述连接机构包括固定杆、导块、第二弹簧、固定块、插块、插槽，所述腔体的内部固定连接有固定杆，所述固定杆的外侧设置有第二弹簧，所述固定杆的外侧滑动套接有导块，所述导块与腔体滑动连接，所述导块上固定连接有固定块，所述固定块与腔体滑动连接，所述固定块与连接座接触，所述固定块上固定连接有插块，所述插块与连接座滑动连接。通过设计连接机构，方便进行连接座的拆卸。
6、优选的，所述第二弹簧的一端与腔体固定连接，所述第二弹簧的另一端与导块固定连接。通过设计第二弹簧，使得第二弹簧的作用力可作用于导块。
7、优选的，所述连接座上开设有插槽，所述插槽的内部滑动连接有插块。通过设计插槽，使得插块可在插槽内滑动。
8、与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
9、1、本技术通过设计滚珠及滚轮的作用，对靶材的上下两端均可进行支撑，从而使得对靶材的支撑效果更好，防止晃动，提高了靶材的稳定性，且通过第一弹簧的作用，第一弹簧会给滚轮一定的下压力，从而可使滚轮与靶材保持接触，可进一步提升靶材的工作使用稳定性。
10、2、本技术通过设计插块与连接座的插接，可对连接座进行限位，进而可将连接座与腔体进行连接使用，且通过水平推动或拉动固定块，即可实现插块与连接座的分离，可方便的对连接座进行拆卸，使用方便快捷。
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1.一种稳定性强的磁流体柱靶，包括腔体(1)，其特征在于：所述腔体(1)上固定连接有电机(2)，所述电机(2)的输出端固定连接有传动轴(3)，所述传动轴(3)与腔体(1)转动连接，所述传动轴(3)上通过齿轮啮合连接有同步轴(4)，所述同步轴(4)上通过齿轮啮合连接有靶材(5)，所述靶材(5)上设置有磁流体(6)，所述腔体(1)上接触有连接座(7)，所述连接座(7)分别与同步轴(4)及靶材(5)活动连接，所述连接座(7)上设置有支撑机构(8)，所述连接座(7)上设置有连接机构(9)。
2.根据权利要求1所述的一种稳定性强的磁流体柱靶，其特征在于：所述支撑机构(8)包括滚珠(81)、第一弹簧(82)、滑块(83)、滑杆(84)、连接块(85)、支架(86)、滚轮(87)，所述连接座(7)的内部转动连接有滚珠(81)，所述滚珠(81)与靶材(5)接触，所述连接座(7)的内部设置有第一弹簧(82)，所述连接座(7)的内部滑动连接有滑块(83)，所述滑块(83)上固定连接有滑杆(84)，所述滑杆(84)与连接座(7)滑动连接，所述滑杆(84)上固定连接有连接块(85)，所述连接
3.根据权利要求2所述的一种稳定性强的磁流体柱靶，其特征在于：所述第一弹簧(82)的一端与连接座(7)固定连接，所述第一弹簧(82)的另一点与滑块(83)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种稳定性强的磁流体柱靶，其特征在于：所述连接机构(9)包括固定杆(91)、导块(92)、第二弹簧(93)、固定块(94)、插块(95)、插槽(96)，所述腔体(1)的内部固定连接有固定杆(91)，所述固定杆(91)的外侧设置有第二弹簧(93)，所述固定杆(91)的外侧滑动套接有导块(92)，所述导块(92)与腔体(1)滑动连接，所述导块(92)上固定连接有固定块(94)，所述固定块(94)与腔体(1)滑动连接，所述固定块(94)与连接座(7)接触，所述固定块(94)上固定连接有插块(95)，所述插块(95)与连接座(7)滑动连接。
5.根据权利要求4所述的一种稳定性强的磁流体柱靶，其特征在于：所述第二弹簧(93)的一端与腔体(1)固定连接，所述第二弹簧(93)的另一端与导块(92)固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种稳定性强的磁流体柱靶，其特征在于：所述连接座(7)上开设有插槽(96)，所述插槽(96)的内部滑动连接有插块(95)。
...【技术特征摘要】
1.一种稳定性强的磁流体柱靶，包括腔体(1)，其特征在于：所述腔体(1)上固定连接有电机(2)，所述电机(2)的输出端固定连接有传动轴(3)，所述传动轴(3)与腔体(1)转动连接，所述传动轴(3)上通过齿轮啮合连接有同步轴(4)，所述同步轴(4)上通过齿轮啮合连接有靶材(5)，所述靶材(5)上设置有磁流体(6)，所述腔体(1)上接触有连接座(7)，所述连接座(7)分别与同步轴(4)及靶材(5)活动连接，所述连接座(7)上设置有支撑机构(8)，所述连接座(7)上设置有连接机构(9)。
2.根据权利要求1所述的一种稳定性强的磁流体柱靶，其特征在于：所述支撑机构(8)包括滚珠(81)、第一弹簧(82)、滑块(83)、滑杆(84)、连接块(85)、支架(86)、滚轮(87)，所述连接座(7)的内部转动连接有滚珠(81)，所述滚珠(81)与靶材(5)接触，所述连接座(7)的内部设置有第一弹簧(82)，所述连接座(7)的内部滑动连接有滑块(83)，所述滑块(83)上固定连接有滑杆(84)，所述滑杆(84)与连接座(7)滑动连接，所述滑杆(84)上固定连接有连接块(85)，所述连接块(85)与连接座(7)滑动连接，所述连接块(85)上固定连接有支架(86)，所述支架(86)上转动连接有滚轮(87)，所述滚...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾晓荔，范方华，范方豪，
申请(专利权)人：深圳鑫佳豪真空镀膜设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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