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本技术公开了一种稳定性强的磁流体柱靶，包括腔体，所述腔体上固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有传动轴，所述传动轴与腔体转动连接，所述传动轴上通过齿轮啮合连接有同步轴，所述同步轴上通过齿轮啮合连接有靶材，所述靶材上设置有磁流体，所述腔体...
该专利属于深圳鑫佳豪真空镀膜设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳鑫佳豪真空镀膜设备有限公司授权不得商用。

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