【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光耦合，特别是涉及一种任意功分比的光耦合装置及其制备方法。
技术介绍
1、基于模式演化理论的绝热定向耦合器凭具备天然的波长不敏感的优势，同时展现了较大的工艺容差，能够较好地应用在光功分器的研究中。然而，为了确保完美的模式演化，绝热定向耦合器一般需要较大的尺寸，在光子集成电路中其集成度有待提高。综上所述，尽管多种类型的光功分器已经被提出，但要实现一种能够同时满足大宽带、小尺寸、低损耗和大工艺容差的功分器仍然是一个挑战。
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题是提供一种任意功分比的光耦合装置及其制备方法，能够实现任意功分比的定向耦合器，且兼具超大带宽，低损耗，小尺寸的性能特点。
2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种任意功分比的光耦合装置，包括：
3、前端过渡区，包括两条前端过渡波导；
4、光耦合区，包括两条耦合波导，所述耦合波导的第一端与对应的所述前端过渡波导连接，其中一条所述耦合波导的宽度沿其第一端向第二端逐渐变宽...
【技术保护点】
1.一种任意功分比的光耦合装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，两条所述耦合波导之间间隙的宽度恒定。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，两条所述耦合波导的宽度变化绝对值相同。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述所述前端过渡波导和所述后端过渡波导均为贝塞尔曲线波导。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述前端过渡波导的宽度沿其第一端向第二端逐渐变化为与对应的所述耦合波导的第一端相等的宽度。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述后端过渡波导的宽度...
【技术特征摘要】
1.一种任意功分比的光耦合装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，两条所述耦合波导之间间隙的宽度恒定。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，两条所述耦合波导的宽度变化绝对值相同。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述所述前端过渡波导和所述后端过渡波导均为贝塞尔曲线波导。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述前端过渡波导的宽度沿其第一端向第二端逐渐变化为与对应的所述耦合波导的第一端相等的宽度。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述后端过渡波导的宽度沿其第一端向第二端从与对应的所述耦合波导的第二端相等的宽度逐渐变化为与对应的所述前端过渡波导的第一端相等的宽度。
7.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘翔，甘甫烷，盛振，赵瑛璇，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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