下载一种任意功分比的光耦合装置及其制备方法的技术资料

文档序号:42648164

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本发明涉及一种任意功分比的光耦合装置及其制备方法,装置包括:前端过渡区,包括两条前端过渡波导;光耦合区,包括两条耦合波导,所述耦合波导的第一端与对应的所述前端过渡波导连接,其中一条所述耦合波导的宽度沿其第一端向第二端逐渐变宽,另一条所述耦合...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。

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