【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及基板粘合系统,特别是涉及能够谋求缩短截止到粘合 结束的时间,同时能够传送器运送粘合基板的基板粘合系统。
技术介绍
在液晶显示板的制造中,有将设有透明电极、薄膜晶体管矩阵的两片玻璃基板以几Mm程度的极其接近的间隔,通过设置在基板的周 缘部上的粘接剂(下面,也称为密封剂)粘合(后面,将粘合后的基 板称为晶格),将液晶密封在因此而形成的空间的工序。该液晶的密封有将液晶滴下到充填了密封剂的按照图案描绘的一 方的基板上,以便不i炎置注入口,在真空腔内,将另一方的基板配置 到一方的基板上,使上下的基板接近,进行粘合的方法等。专利文献 1公开了为了将基板运入、运出该真空腔内而设置预备室,使真空腔 内为与预备室相同的环境,进行基板的出入的情况。另外,专利文献2公开的真空处理装置的构成是,为了顺畅地进 行材料从预备室的运入运出,为了在预备室内进行基板的交接,使运 送室也成为真空状体,而将基板从处理室向加载互锁室运送。专利文献II日本特开2001-305563号一>寺艮专利文献2j日本特开平06-005687号/〉才艮在上述专利文献l中,因为为了在基板的出入时 ...
【技术保护点】
一种基板粘合系统,其特征在于,构成为将加载互锁室和脱气室以及基板粘合室直线状配置,同时,在各室间设置门阀,在上述脱气室内设置存储多片下基板的收纳机构,在上述粘合室设置用于通过粘合的运入机器人运入上侧基板并保持在上工作台,同时,从下工作台接收粘合后的制品并运出的门阀,将滴下有液晶的下侧基板运入上述加载互锁室,通过传送器运入上述脱气室,依次收纳在设置于上述脱气室的收纳机构,按照运入的顺序,将上述下基板交接到传送器,向上述粘合室运送。
【技术特征摘要】
JP 2007-12-3 2007-3121821.一种基板粘合系统,其特征在于,构成为将加载互锁室和脱气室以及基板粘合室直线状配置,同时,在各室间设置门阀,在上述脱气室内设置存储多片下基板的收纳机构,在上述粘合室设置用于通过粘合的运入机器人运入上侧基板并保持在上工作台,同时,从下工作台接收粘合后的制品并运出的门阀,将滴下有液晶的下侧基板运入上述加载互锁室,通过传送器运入上述脱气室,依次收纳在设置于上述脱气室的收纳机构,按照运入的顺序,将上述下基板交接到传送器,向上述粘合室运送。2. 如权利要求1所述的基板粘合系统,...
【专利技术属性】
技术研发人员:海津拓哉,武田紘明,
申请(专利权)人:株式会社日立工业设备技术,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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