无尘室的排气系统及其施工方法技术方案

本发明专利技术提供无尘室的排气系统及其施工方法，无需另行加工，通过混凝土浇注而在混凝土地板上形成吸气孔，且该吸气孔具有圆筒状的套管及吸气所需的大的开口，并设置由铝构成的圆板状的盖，由此与垂直层流型无尘室构造相比，对振动和地震荷重的耐受能力提高，且成本低廉。用于高集成电路的制造室、遗传工程学研究室、微粒子制造室的无尘室的排气系统包括：以一定间隔立设于在地板上设置的排气管，且上段形成有吸气口、下段连结于排气管的圆筒状的套管（４）；设于套管（４）的上段内周缘的环状的支承框架（３）；配置于支承框架（３）底面上的圆弧状的护圈（２）；经由护圈（２）配设于支承框架（３）上，具备多个吸气孔，且在该吸气孔的周围形成有用于提高支承力的多个肋的圆板状的盖（１）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，更详细来说，涉及下述这样的，即，不使用二重地板构造，无需另行加工，通过混凝土浇注(打設)而在混凝土地板上形成吸气孔，该吸气孔具有圆筒状的套管及吸气所需的大的开口，并设置由铝构成的圆板状的盖，由此与垂直层流型无尘室构造相比，对振动和地震荷重的耐受能力提高，且成本低廉。
技术介绍
众所周知，通常在半导体那样的高集成电路的制造室、遗传工程学研究室、微粒子制造室等场所，为了制造适合制造工序的环境，而设置垂直层流型无尘室。垂直层流型无尘室中，在距无尘室的混凝土地板面一定高度的上部设置活动地板(access floor)，并且利用关联组件作成对活动地板进行存取的构造。由于在由二重地板构成的活动地板的下段将室内的污染气体排出，故可以维持该无尘室的洁净状态。但是，问题点在于，利用上述的活动地板的二重地板构造由于由高价的活动地板和关联组件构成，故装备自身为高价，由于需要在使活动地板离开地板面的状态下坚固地固定的精密施工过程，故施工成本提高。另外，即使完成了施工的活动地板的二重地板系统施工为防尘构造，实际上耐震强度以上的地震发生时，支承力也会减弱而可能导致活动地板损坏。另外，具有下述问本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无尘室的排气系统，其用于高集成电路的制造室、遗传工程学研究室、微粒子制造室，其特征在于，包括：　圆筒状的套管（４），以一定间隔立设于在地面上设置的排气管，且上段形成有吸气口，下段连结于所述排气管；　环状的支承框架（３），设于所述套管 （４）的上段内周缘；　圆弧状的护圈（２），配置于所述支承框架（３）底面；　圆板状的盖（１），经由所述护圈（２）配设于所述支承框架（３）上，具备多个吸气孔，且在该吸气孔的周围形成有用于提高支承力的多个肋。

【技术特征摘要】
KR 2008-8-5 10-2008-00765991、一种无尘室的排气系统，其用于高集成电路的制造室、遗传工程学研究室、微粒子制造室，其特征在于，包括圆筒状的套管(4)，以一定间隔立设于在地面上设置的排气管，且上段形成有吸气口，下段连结于所述排气管；环状的支承框架(3)，设于所述套管(4)的上段内周缘；圆弧状的护圈(2)，配置于所述支承框架(3)底面；圆板状的盖(1)，经由所述护圈(2)配设于所述支承框架(3)上，具备多个吸气孔，且在该吸气孔的周围形成有用于提高支承力的多个肋。2、 如权利要求1所述的无尘室的排气系统，其特征在于，所述支承框架(3)具有台阶状的截面，以载置所述护圈(2)和所述盖(1)。3、 如权利要求1所述的无尘室的排气系统，其特征在于，所述支承框架(3)通过由硅酮构成的密封材料(6)附着于混凝土地板构造体(7)的上段内周缘。4、 如权利要求1所述的无尘室的排气系统，其特征在于，所述护圈(2)由合成树脂材质构成，且在其上面形成有插设形成于盖(1)的背面的最外廓肋(l一e)的凹槽(2 — c)。5、 如权利要求l所述的无尘室的排气系统，其特征在于，所述盖(1)划分而形成横9个及纵9个的主增强肋(l一b)，且在其间形成横5个的辅助肋(l一c)。6、 如权利要求1所述的无尘室的排气系统，其特征在于，所述盖(1)形成为以十字状肋(l一d)为中心将荷重分散于...

【专利技术属性】
技术研发人员：金在浩，
申请(专利权)人：株式会社海广，
类型：发明
国别省市：KR[]