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本发明提供无尘室的排气系统及其施工方法，无需另行加工，通过混凝土浇注而在混凝土地板上形成吸气孔，且该吸气孔具有圆筒状的套管及吸气所需的大的开口，并设置由铝构成的圆板状的盖，由此与垂直层流型无尘室构造相比，对振动和地震荷重的耐受能力提高，且成...
该专利属于株式会社海广所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社海广授权不得商用。

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