三维形状测量装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供三维形状测量装置及方法，其装置包括：XY台、投 影部、光路变换器和成像部，所述投影部包括：第一、第二照明；多 个投影透镜；光栅板，设置在第一、第二照明和多个投影透镜之间， 形成有多个光栅；投影部移送装置，用来将光栅板朝向与第一、第二 照明照射光垂直的方向移动，所述光路变换器包括：多个反射镜；第 一、第二滤光器，分别设置在多个反射镜的下侧，对经过多个反射镜 的光的特性进行调节并透射其光；第三照明，设置在第一、第二滤光 器之间，将光照射至检查对象物，所述成像部包括：第三滤光器；成 像透镜；成像摄影机。通过使用多个照明和滤光器交替地扫描测量对 象物的一侧和另一侧，能够去除在测量三维形状时产生的影子区域。

【技术实现步骤摘要】

本分明涉及，更具体地说，涉及使用多 个照明和滤光器交替地扫描测量对象物的 一侧和另 一侧以能够去除在 测量三维形状时产生的影子区域的。
技术介绍
下面，利用附有三维形状测量装置的图IO进行说明。 图IO所示的三维形状测量装置包括投影装置10、成像装置20、 控制装置30和位移测量装置40。下面，概略地说明各结构。投影装置IO具有光栅(图中未示出)，从投影装置IO产生的光透 过光栅投影在测量物0的一侧。在通过格紋图案的光被照射在测量物 O的一侧时，由成像装置20对其进行摄像。成像装置20对通过投影 在测量物0上的光来形成的图像进行摄像，并将其传送给控制装置30, 位移测量装置40对从成像装置20至测量物O的隔离距离的位移进行 测量，将其传送给控制装置30。控制装置30利用从位移测量装置40 传送的位移信息计算从成像装置20至测量物O的位移距离，并利用 从成像装置20传送的图像计算高度，利用计算出的高度信息测定测量 物O的三维形状。
技术实现思路
但是，上述的现有技术的三维形状测量装置由于仅在测量物的一 侧上透射光以获得图像，所以在另一侧产生影子，因此具有不能正确 地测定测量物的缺陷。因此本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三维形状测量装置，其特征在于，包括：　ＸＹ台，其中安装有衬底部件，所述衬底部件形成有多个识别标志；　投影部，包括：发光的第一、第二照明；多个投影透镜，设置在所述第一、第二照明一侧；光栅板，设置在所述第一、第二照明和所述多个投 影透镜之间，形成有多个光栅；投影部移送装置，用来将所述光栅板朝向与从所述第一、第二照明产生的光的照射方向垂直的方向移动；　光路变换器，包括：多个反射镜，设置在所述投影部的一侧，相互隔开一定的间隔；第一、第二滤光器，分别设置在所述多个反 射镜的下侧，对经过多个反射镜的光的特性进行调节而进行光的透射；第三照明，设置在所述第一、第二滤光器之间...

【技术特征摘要】
2005.12.14 KR 10-2005-0123409;2005.12.14 KR 10-2001.一种三维形状测量装置，其特征在于，包括XY台，其中安装有衬底部件，所述衬底部件形成有多个识别标志；投影部，包括发光的第一、第二照明；多个投影透镜，设置在所述第一、第二照明一侧；光栅板，设置在所述第一、第二照明和所述多个投影透镜之间，形成有多个光栅；投影部移送装置，用来将所...

【专利技术属性】
技术研发人员：高光一，成银莹，全文荣，金珉永，李承埈，
申请(专利权)人：株式会社高永科技，
类型：发明
国别省市：KR