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三维形状测量装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:4262486
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本发明提供三维形状测量装置及方法,其装置包括:XY台、投 影部、光路变换器和成像部,所述投影部包括:第一、第二照明;多 个投影透镜;光栅板,设置在第一、第二照明和多个投影透镜之间, 形成有多个光栅;投影部移送装置,用来将光栅板朝向与第一、第...
该专利属于株式会社高永科技所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社高永科技授权不得商用。
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