下载三维形状测量装置及方法的技术资料

文档序号:4262486

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本发明提供三维形状测量装置及方法,其装置包括:XY台、投 影部、光路变换器和成像部,所述投影部包括:第一、第二照明;多 个投影透镜;光栅板,设置在第一、第二照明和多个投影透镜之间, 形成有多个光栅;投影部移送装置,用来将光栅板朝向与第一、第...
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