三维形状测量方法技术

本发明专利技术涉及三维形状测量方法，当检查对象物不处于正常检查模式的场合，在有裸板信息的板时通过数据库检索裸板信息、在由没有裸板信息的供应厂商供应的板的场合通过裸板学习来测量板的三维形状。本发明专利技术的三维形状测量方法包括以下步骤：测量第一照明源（４１ａ）的亮度、测量将相位变换成高度的因数、确认测量作业是否为正常检查模式、测量与正常检查模式相应的板（６２）的三维形状、确认有没有关于板的裸板信息、在没有裸板信息的情况下实施裸板学习、当裸板信息存在或产生裸板学习信息时测量与学习检查模式相应的板的目标对象物的三维形状、使用三维形状信息来分析板是否正常。由此，更易于实施板的三维形状测量作业。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，更具体地说，涉及下述测量方法， 即，在检查对象物不处于正常检查模式中，在有棵板信息的板时通过DB( Date Base:数据库)检索棵板信息，在由无棵板信息的供应厂商 供应的板时通过棵板(bare board)学习，能够测量板的目标对象物 (target obj ect)的三维形状。
技术介绍
现有技术的如图9所示，为了测量三维形状， 为了获得相应于基准面的基准相位，将产生自照明源(图中未示出) 的光照射到光栅装置(图中未示出)，使光栅图案照明照射到基准面 (SIO)。在将光栅图案照明照射到基准面时，按照能够利用相移算法 (bucket algorithm )的方式4吏用PZT ;敫厉力器(Piezoelectric Actuator: 压电激励器，图中未示出)以微小间隔移送光栅同时照射到基准面， 并通过CCD摄影机(图中未示出)和图像板(图中未示出)获得光栅 图案图像(Sll)。当由图像板获得光栅图案图像时，对光栅图案图像 适用相移算法(S12)，以获得相对于基准面的基准相位(S13)。当获得与基准面相应的基准相位时，为了获得与检查对象相应的 物体相位，首先将检查对象物放置到移送台上，使产生自照明源的光 照射到光栅(图中未示出)，以照射到检查对象物的测量面(S15)。在 照射光栅图案照明时，按照能够利用相移算法的方式使用PZT激励器 以微小间隔移送光栅同时照射到测量面，并通过CCD摄影机和图像板 获得由测量面反射的光栅图案图像(S16)。当在图像板上获得由测量 面反射的光栅图案图像时，对光栅图案图像适用相移算法(S17),以 获得检查对象物的物体相位(S18)。当获得基准相位和物体相位时，从基准相位中扣除物体相位3(S20),获得莫尔条紋相位(S21)。当获得莫尔条紋相位时，将该莫尔条紋相位展开(S22)，利用展开的结果来求解检查对象物的实际高 度信息(S23)，从而测量测量物的三维形状。
技术实现思路
但是，上述的现有技术的，在测量不是通常进 行的检查对象物的全新的检查对象物的情况下，由于以手动方式—— 计算测量条件后再实施，因此存在增加作业者的疲劳、降低测量作业 的生产效率的问题。因此，本专利技术是为了解决上述问题而提出的，目的在于提供一种 ，在检查对象物处于正常检查模式的情况下，测量 基于正常检查模式的板的三维形状，在检查对象物不处于正常检查模 式的情况下，通过数据库检索棵板信息，或者在由无棵板信息的供应 厂商供应的板的情况下，通过棵板学习，测量板的三维形状，以能够 改善测量作业的生产效率。本专利技术的另一目的在于，在不同步骤使在测量三维形状时使用的 照明源的亮度恒定维持来测量三维形状，由此能够改善三维形状的测 量质量。为了达到上述目的，本专利技术的包括下述步骤 由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，以测量第 一 照明源的亮 度；当第一照明源的亮度测量结束时，由中央控制部控制模块控制部 和图像获取部，以测量将相位变换为高度的因数；当第一照明源的亮 度和将相位变换为高度的因数被测量时，由中央控制部确认测量作业 是否为正常检查模式；当在确认是否为正常检查模式的步骤中被确认 为正常检查模式时，由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，以 测量基于正常检查模式的板的三维形状；当在确认是否为正常检查模 式的步骤中被确认为不是正常检查模式时，由中央控制部检索数据库 以确认是否存在相对于板的棵板信息；在确认是否存在棵板信息的步 骤中，当不存在棵板信息时，由中央控制部控制模块控制部和图像获 取部，实施棵板学习；在确认是否存在棵板信息的步骤中，当存在棵4制部控制模块控制部和图像获取部，以测量基于学习检查模式的板的 三维形状；当在测暈基于正常检查模式的板的三维形状的步骤中和在 测量基于学习检查模式的板的三维形状的步骤中板的三维形状被分另'j 测量时，中央控制部利用所测量的三维形状信息分析板是否为正常。附图说明图1为表示本专利技术的适用的三维形状测量系统的图；图2A至2C为表示各板、棵板和校准目标的结构的图； 图3为表示本专利技术的流程图； 图4为详细表示对图3所示的第一照明源的亮度进行测量的步骤 的流程图；图5为详细表示对图3所示的将相位变换成高度的因数进行测量 的步骤的流程图；图6A和图6B为详细表示对根据图3所示的正常检查模式的板的 三维形状进行测量的步骤的流程图；图7A和图7B为详细表示图3所示的棵板学习步骤的流程图；图8A和图8B为详细表示对根据图3所示的学习检查模式的板的 三维形状进行测量的步骤的流程图；图9为表示现有的的流程图。标号的说明 10中央控制部 20模块控制部 30图像获取部 40图形投影器 41照明4， 41a第一照明源 42光栅移送装置50第二照明源60台移送装置 61 X-Y台 70摄影机 80 DB具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施例进行说明如下。图1为表示本专利技术的适用的三维形状测量系统 的图。如图所示，本专利技术的适用的三维形状测量系 统包括中央控制部10、才莫块控制部20、图像获耳又部30、至少一个 以上的图形投影器40、第二照明源50、 X—Y台61、台移送装置60 和摄影机70,依次对各构成进行说明如下。摄影机70适用CCD (电荷耦合装置)或者CMOS (互补金属氧 化物半导体)摄影机，摄影机70的下侧设有透镜72、滤光器71和第 二照明源50。摄影机70上具备的第二照明源50包括圆形排列多个发 光二极管(图中未示出)或者适用圆形灯(图中未示出)，作为测量检 查对象物的板62和棵板63特定位置的特殊形状的照明使用。台移送装置60使位于摄影机70下侧的X—Y台61驱动以按照摄 影才几70可以对板62、棵板63或校准目标64进行」摄影的方式将其分 别移送到预定的位置。三维形状测量系统具备以实线和虚线分别表示的两个图形投影器 40中的至少一个，图形投影器40分别倾斜地设置在对板62、棵板63 或校准目标64进行摄影的摄影机70的一侧或另 一侧。图形投影器40 包括照明部41、光栅移送装置42、光栅装置43和透镜44。照明部 41由第一照明源41a和透镜41b、 41c构成，从第一照明源41a产生的 照明透过透镜44照射到光栅装置43后，分别照射到作为检查对象物 的板62、棵板63或校准目标64。图像获取部30接收由摄影机70拍摄的图像将其传送到中央控制 部10，模块控制部20由台控制器21、光栅控制器22、照明控制器236构成。照明控制器23控制照明部41的第一照明源41a或第二照明源 50,光栅控制器22控制光栅移送装置42的驱动，台控制器21控制台 移送装置60的驱动。中央控制部10由控制板11、图像处理板12和接口板13构成。 中央控制部IO通过接口板13对模块控制部20和图像获取部30发送/ 接收控制信号和信息，图像处理板12处理从图像获取部30接收的图 像，控制板11整体地控制本专利技术的三维形状测量系统。此外，中央控 制部10在DB (数据库)80中检索新板供应厂商的棵板信息或者存储 通过学习检查模式获得的棵板信息。使用附图1至图3对使用上述构成的三维形状测量系统测量板62 的三维形状的方法进行说明如下。图1为表示本专利技术的适用的三维形状测量系统 的图，图2A至2本文档来自技高网...

【技术保护点】
三维形状测量方法，包括下述步骤：　由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，以测量第一照明源的亮度；　当所述第一照明源的亮度测量结束时，由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，以测量将相位变换为高度的因数；　当所述第一照明源 的亮度和将所述相位变换为高度的因数被测量时，由中央控制部确认测量作业是否为正常检查模式；　当在确认是否为所述正常检查模式的步骤中确认为正常检查模式时，由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，以测量基于正常检查模式的板的目标对象物的三维 形状；　当在确认是否为所述正常检查模式的步骤中确认为不是正常检查模式时，由中央控制部检索数据库以确认是否存在相对于板的裸板信息；　在确认是否存在所述裸板信息的步骤中，当不存在裸板信息时，由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，实 施裸板学习；　在确认是否存在所述裸板信息的步骤中，当存在裸板信息时或者当实施裸板学习的步骤产生裸板学习信息时，由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，以测量基于学习检查模式的板的三维形状；　当在测量基于所述正常检查模式的板的三维 形状的步骤中和在测量基于所述学习检查模式的板的目标对象物的三维形状的步骤中板的目标对象物的三维形状被分别测量时，中央控制部利用所测量的三维形状信息分析板是否为正常。...

【技术特征摘要】
KR 2006-1-26 10-2006-0008479;KR 2006-1-26 10-2006-1.三维形状测量方法，包括下述步骤由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，以测量第一照明源的亮度；当所述第一照明源的亮度测量结束时，由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，以测量将相位变换为高度的因数；当所述第一照明源的亮度和将所述相位变换为高度的因数被测量时，由中央控制部确认测量作业是否为正常检查模式；当在确认是否为所述正常检查模式的步骤中确认为正常检查模式时，由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，以测量基于正常检查模式的...

【专利技术属性】
技术研发人员：金珉永，金熙泰，俞炳敏，韩世铉，李承埈，
申请(专利权)人：株式会社高永科技，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]