一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置制造方法及图纸

本技术提供一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置，包括：上撑板、连接孔以及加热内衬，所述上撑板右侧内部设有连接孔，所述上撑板左侧设有支撑板，所述支撑板右侧设有红外检测头，所述支撑板下端设有底座，所述连接孔下端设有伸缩柱，所述伸缩柱下端设有上座，所述上座下侧设有放置槽，所述放置槽外侧设有下座，所述下座左右两侧均设有一组夹臂，所述夹臂外侧设有侧夹座，所述下座下端设有旋座，与现有技术相比，本技术具有如下的有益效果：通过使用上撑板以及支撑板，能够对上座进行支撑，通过使用两组夹臂，能够对下座稳定性进行夹持，通过使用红外检测头，能够检测放置槽内部碳化硅晶体放置是否正确。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于碳化硅晶体制造，涉及一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置。

技术介绍

1、碳化硅晶体保温装置在制造和使用过程中，可能会遇到一些问题和缺陷，其中之一就是边缘环形形貌的问题。这种问题主要由于碳化硅晶体在生长过程中，由于温度和压力的不均匀分布，导致晶体边缘出现环形的形貌。

2、具体来说，这种边缘环形形貌的问题主要是由于在碳化硅晶体生长过程中，热量传递的不均匀性所引起的。由于碳化硅晶体的生长需要在高温下进行，而高温会导致晶体各部分的热膨胀程度不同，这样就会在晶体内部产生热应力。这种热应力的分布往往是不均匀的，尤其在晶体的边缘区域更为明显。因此，这就导致了晶体的边缘出现环形的形貌。

3、这种边缘环形形貌的问题不仅影响了碳化硅晶体的美观，更重要的是，它可能会影响到晶体的质量和性能。因为这种形貌往往会导致晶体内部的应力集中，从而使得晶体更容易出现裂纹和破碎。这不仅增加了制造过程中的废品率，也影响了碳化硅晶体在实际使用中的性能，因此，现在亟需一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置来解决以上的问题。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置，解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、本技术通过以下的技术方案实现：一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置，包括：上撑板、连接孔以及加热内衬，所述上撑板右侧内部设有连接孔；

3、所述上撑板左侧设有支撑板，所述支撑板右侧设有红外检测头，所述支撑板下端设有底座，所述连接孔下端设有伸缩柱，所述伸缩柱下端设有上座，所述上座下侧设有放置槽；

4、所述放置槽外侧设有下座，所述下座左右两侧均设有一组夹臂，所述夹臂外侧设有侧夹座，所述下座下端设有旋座，所述旋座下端设有活动座，所述上座下端内侧设有加热内衬。

5、作为一优选的实施方式，所述连接孔上端设有导线，所述导线贯穿连接孔与伸缩柱以及加热内衬电性连接，所述加热内衬外侧设有感应加热线圈。

6、作为一优选的实施方式，所述上撑板与支撑板之间通过支撑架连接固定，所述上撑板与支撑板以及支撑架之间通过螺栓连接固定，能够通过上撑板以及支撑板来对上座进行支撑。

7、作为一优选的实施方式，所述放置槽横截面直径长度与上座外侧横截面直径长度一致，所述上座与放置槽内部相互嵌合，加热内衬横截面为一种环形结构。

8、作为一优选的实施方式，所述下座左右两端外侧分别与一组夹臂嵌合连接，所述夹臂为一种液压活动机构，其液压机构设置在对应侧夹座内部，能够通过两组夹臂来对下座稳定性进行夹持。

9、作为一优选的实施方式，左侧所述侧夹座内部以及下座左侧内部均设有内孔，两组所述内孔横截面圆心与红外检测头位于同一水平直线设置，所述下座内部内孔右侧与放置槽内部相互连通，能够通过红外检测头来检测放置槽内部碳化硅晶体放置是否正确。

10、采用了上述技术方案后，本技术的有益效果是：通过使用上撑板以及支撑板，能够对上座进行支撑，通过使用两组夹臂，能够对下座稳定性进行夹持，通过使用红外检测头，能够检测放置槽内部碳化硅晶体放置是否正确。

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【技术保护点】

1.一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置，包括：上撑板(100)、连接孔(110)以及加热内衬(230)，其特征在于：所述上撑板(100)右侧内部设有连接孔(110)；

2.根据权利要求1所述的一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置，其特征在于：所述连接孔(110)上端设有导线，导线贯穿连接孔(110)与伸缩柱(120)以及加热内衬(230)电性连接，所述加热内衬(230)外侧设有感应加热线圈。

3.根据权利要求1所述的一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置，其特征在于：所述上撑板(100)与支撑板(140)之间通过支撑架连接固定，所述上撑板(100)与支撑板(140)以及支撑架之间通过螺栓连接固定。

4.根据权利要求1所述的一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置，其特征在于：所述放置槽(190)横截面直径长度与上座(130)外侧横截面直径长度一致，所述上座(130)与放置槽(190)内部相互嵌合，加热内衬(230)横截面为一种环形结构。

5.根据权利要求1所述的一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置，其特征在于：所述下座(180)左右两端外侧分别与一组夹臂(170)嵌合连接，所述夹臂(170)为一种液压活动机构，其液压机构设置在对应侧夹座(160)内部。

6.根据权利要求5所述的一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置，其特征在于：左侧所述侧夹座(160)内部以及下座(180)左侧内部均设有内孔，两组所述内孔横截面圆心与红外检测头(150)位于同一水平直线设置，所述下座(180)内部内孔右侧与放置槽(190)内部相互连通。

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【技术特征摘要】

1.一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置，包括：上撑板(100)、连接孔(110)以及加热内衬(230)，其特征在于：所述上撑板(100)右侧内部设有连接孔(110)；

2.根据权利要求1所述的一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置，其特征在于：所述连接孔(110)上端设有导线，导线贯穿连接孔(110)与伸缩柱(120)以及加热内衬(230)电性连接，所述加热内衬(230)外侧设有感应加热线圈。

3.根据权利要求1所述的一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置，其特征在于：所述上撑板(100)与支撑板(140)之间通过支撑架连接固定，所述上撑板(100)与支撑板(140)以及支撑架之间通过螺栓连接固定。

4.根据权利要求1所述的一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形...

【专利技术属性】
技术研发人员：李天运，邱艳丽，
申请(专利权)人：合肥世纪金芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：