一种碳化硅晶体缺陷的检测装置制造方法及图纸

本技术提供一种碳化硅晶体缺陷的检测装置，包括：检测盒、盒门、控制器以及光学显微镜，检测盒正面安装有两个盒门，检测盒上方设置有光学显微镜，右侧盒门正面右侧安装有控制器，检测盒上表面中间贯通开设有检测口，与现有技术相比，本技术具有如下的有益效果：通过设置固定轴承、左推杆、右推杆、固定夹板、旋转板以及调节电机，能够便于将碳化硅晶体样品进行夹持使其固定，从而便于固定样品进行缺陷检测，且在检测过程中还能够便于使样品转动调节检测位置，便于对样品不同的位置进行缺陷检测，通过设置加热层、铜制导热层、测温探头以及控制器，能够使检测盒内部处于恒温状态，防止检测盒内部温度过低影响缺陷检测结果。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于碳化硅晶体缺陷检测，特别涉及一种碳化硅晶体缺陷的检测装置。

技术介绍

1、在检测盒内通过光学显微镜进行碳化硅晶体的缺陷检测，是将碳化硅晶体放置在显微镜下，利用光源照射及透镜放大的原理观察样品的表面缺陷，如裂纹、气泡等。通过对缺陷的分析和判读，快速实现对碳化硅晶体的检测和评估，然后现有技术中在检测盒内通过光学显微镜进行碳化硅晶体的缺陷检测时，无法保持检测盒内温度恒定且内部温度低不稳定，会出现以下缺点：

2、可能引起误判：温度低不稳定条件下，样品可能会受热胀冷缩的影响，导致样品形变发生变化。这可能使看起来像是缺陷的形貌或特征出现假象，导致误判。

3、限制可靠性和重复性：恒定温度是确保实验结果的可靠性和可重复性的重要因素之一。如果在缺陷检测过程中无法保持检测盒内的温度恒定，不同的实验结果可能会受到温度变化的不同影响，导致实验的结果不一致。这不利于对样品的准确评估和比较。

4、综上所述，碳化硅晶体在通过光学显微镜进行缺陷检测时，如果无法保持检测盒内温度恒定且内部温度低不稳定，会产生误判和限制可靠性和重复性等缺点，因此，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种碳化硅晶体缺陷的检测装置，包括：检测盒(100)、盒门(300)、控制器(600)以及光学显微镜，所述检测盒(100)正面安装有两个盒门(300)，所述检测盒(100)上方设置有光学显微镜，右侧所述盒门(300)正面右侧安装有控制器(600)，其特征在于：所述检测盒(100)上表面中间贯通开设有检测口(200)；

2.如权利要求1所述的一种碳化硅晶体缺陷的检测装置，其特征在于：两个所述盒门(300)中间分别安装有一个把手(400)，左侧所述盒门(300)正面中间安装有温度显示器(500)。

3.如权利要求2所述的一种碳化硅晶体缺陷的检测装置，其特征在于：所...

【技术特征摘要】

1.一种碳化硅晶体缺陷的检测装置，包括：检测盒(100)、盒门(300)、控制器(600)以及光学显微镜，所述检测盒(100)正面安装有两个盒门(300)，所述检测盒(100)上方设置有光学显微镜，右侧所述盒门(300)正面右侧安装有控制器(600)，其特征在于：所述检测盒(100)上表面中间贯通开设有检测口(200)；

2.如权利要求1所述的一种碳化硅晶体缺陷的检测装置，其特征在于：两个所述盒门(300)中间分别安装有一个把手(400)，左侧所述盒门(300)正面中间安装有温度显示器(500)。

3.如权利要求2所述的一种碳化硅晶体缺陷的检测装置，其特征在于：所述测温探头(150)与温度显示器(500)和控制器(600)连接，所述控制器(600)与加热层(160)连接，所述加热层(160)由多根绝缘电热丝组合构成。

4.如权利要求3所述的一种碳化...

【专利技术属性】
技术研发人员：李天运，邱艳丽，
申请(专利权)人：合肥世纪金芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：