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本技术提供一种碳化硅晶体缺陷的检测装置，包括：检测盒、盒门、控制器以及光学显微镜，检测盒正面安装有两个盒门，检测盒上方设置有光学显微镜，右侧盒门正面右侧安装有控制器，检测盒上表面中间贯通开设有检测口，与现有技术相比，本技术具有如下的有益效果...
该专利属于合肥世纪金芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥世纪金芯半导体有限公司授权不得商用。

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