载置台控制装置、光刻装置以及物品制造方法制造方法及图纸

载置台控制装置、光刻装置以及物品制造方法。控制载置台的载置台控制装置具备：编码器，被构成为包括标尺以及头，测量所述载置台的位置；温度测量器；以及控制部，根据所述编码器的输出以及所述温度测量器的输出来控制所述载置台，所述标尺具有具备由所述头编码的刻度的第1面和所述第1面的相反侧的第2面，所述温度测量器包括与所述标尺的所述第2面接触或者面对地配置的多个温度传感器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及载置台控制装置、光刻装置以及物品制造方法。

技术介绍

1、在日本特开2021-56019号公报中，记载了具有标尺(scale)以及头的编码器。标尺具有设置有沿着测定方向的刻度的基材，在基材上从测定方向的一端到另一端设置有传递与基材的温度有关的温度信号的波导。在波导中设置有温度探测部，温度探测部根据基材的温度的变化使温度信号变化。在波导的一端配置了用于取出温度信号的结构。

2、在日本特开2021-56019号公报记载的编码器中，在标尺的内部设置有波导，在该波导中配置有温度探测部，所以构造复杂。另外，在专利文献1中，在波导的一端即标尺的一端配置了用于取出温度信号的结构，所以不适合如连接多个标尺的用途、即测量范围大的用途。

技术实现思路

1、本专利技术的第1侧面的目的在于提供一种具备具有简单的构造的编码器的载置台装置。

2、本专利技术的第1侧面涉及控制载置台的载置台控制装置，所述载置台控制装置具备：编码器，被构成为包括标尺以及头，测量所述载置台的位置；温度测量器；以及控制部，根本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种控制载置台的载置台控制装置，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的载置台控制装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的载置台控制装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的载置台控制装置，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的载置台控制装置，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的载置台控制装置，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的载置台控制装置，其特征在于，

8.根据权利要求1所述的载置台控制装置，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的载置台控制装置，其特征在于，

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【技术特征摘要】

1.一种控制载置台的载置台控制装置，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的载置台控制装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的载置台控制装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的载置台控制装置，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的载置台控制装置，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的载置台控制装置，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的载置台控制装置，其特征在于，

8.根据权利要求1所述的载置台控制装置，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的载置台控制装置，其特征在于，

10.根据权利要求9所述的载置台控制装置，其特征在于，

11.根据权利要求10所述的载置台控制装置，其特征在于，

12.根据权利要求2所述的载置台控制装...

【专利技术属性】
技术研发人员：安斋干人，森川宽，小友志織，石井祐二，木村良一，细川浩伸，畑智康，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：

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