【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学器件制备，具体涉及一种柱状棱镜的制备方法。
技术介绍
1、柱状棱镜是光学器件的重要组成部分，常用在数码设备上，例如照相机、闭路电视、投影机、数码相机、数码摄录机、ccd镜头以及各类光学器件。光线通过柱状棱镜进行反射、折射以及散射将光源均匀的由柱状棱镜扩散透射出，因此，具有高精度面型特征的柱状棱镜能够为光学器件提供更均匀的面光源及更大的视场角。因此，寻求一种便于加工、可控性强、加工效率高且光学性能优异的柱状棱镜制备方法是本领域技术人员亟需解决的技术问题。。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种柱状棱镜的制备方法，本专利技术提供的制备方法制备得到的柱状棱镜较传统柱状棱镜具有更大的视场角，能够有效地提高柱状棱镜的匀光性能。
2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、本专利技术提供了一种柱状棱镜的制备方法，包括以下步骤：
4、在模具的表面涂覆第一压印胶，在所述第一压印胶上设置玻璃基板，依次进行第一纳米压印和第一固化，得到第一模板，所述第一模板包括玻璃基板和位于所述玻璃基板表面的第一胶层；
5、在棱镜基底的表面涂覆第二压印胶，在所述第二压印胶上设置所述第一模板，依次进行第二纳米压印和第二固化，得到第二模板，所述第二模板包括棱镜基底和位于所述棱镜基底表面的第二胶层；所述第二压印胶和所述第一胶层接触；
6、对所述第二模板上具有第二胶层的一侧进行垂直刻蚀，得到所述柱状棱镜。
7、优选的
8、优选的，所述模具的尺寸为6～8寸，厚度为0.7～1mm。
9、优选的，所述第一压印胶为硅氧烷聚合物。
10、优选的，所述第二压印胶为环氧树脂类压印胶。
11、优选的，所述第一固化和第二固化的方式均为紫外光固化；所述紫外光固化的强度独立的为100～150mw/cm2；所述紫外光固化的照射时间独立的为100～200s。
12、优选的，所述棱镜基底包括单晶硅、石英或玻璃。
13、优选的，所述垂直刻蚀的条件包括：刻蚀功率为10～50w，刻蚀时腔体的压力为10～50mt，刻蚀气体包括sf6或cf4。
14、优选的，所述垂直刻蚀的刻蚀选择比为1:1。
15、本专利技术提供了一种柱状棱镜的制备方法，包括以下步骤：在模具的表面涂覆第一压印胶，在所述第一压印胶上设置玻璃基板，依次进行第一纳米压印和第一固化，得到第一模板，所述第一模板包括玻璃基板和位于所述玻璃基板表面的第一胶层；在棱镜基底的表面涂覆第二压印胶，在所述第二压印胶上设置所述第一模板，依次进行第二纳米压印和第二固化，得到第二模板，所述第二模板包括棱镜基底和位于所述棱镜基底表面的第二胶层；所述第二压印胶和所述第一胶层接触；对所述第二模板上具有第二胶层的一侧进行垂直刻蚀，得到所述柱状棱镜。本专利技术将纳米晶圆模具作为柱状棱镜的模具，通过纳米压印工艺将纳米晶圆模具上的图案转印至玻璃基板得到第一模板，由第一模板通过压印工艺将纳米结构图案转印至棱镜基底表面，得到具有纳米结构图案的柱状棱镜。本专利技术采用纳米压印工艺进行压印，利用设备的高精度对面型进行补偿，缩小了模具与柱状棱镜间的面型差距。本专利技术采用垂直刻蚀工艺对具有纳米结构图案的棱镜基底进行刻蚀，将纳米结构图案从压印胶层转移至棱镜基底，在棱镜基底上形成纳米结构图案，得到柱状棱镜。本专利技术提供的制备方法制备得到的柱状棱镜较传统柱状棱镜具有更大的视场角，能够有效地提高匀光性能。
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1.一种柱状棱镜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述模具的材质包括单质硅或石英。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述模具的尺寸为6～8寸，厚度为0.7～1mm。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一压印胶为硅氧烷聚合物。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第二压印胶为环氧树脂类压印胶。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一固化和第二固化的方式均为紫外光固化；所述紫外光固化的强度独立的为100～150mW/cm2；所述紫外光固化的照射时间独立的为100～200s。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述棱镜基底包括单晶硅、石英或玻璃。
8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述垂直刻蚀的条件包括：刻蚀功率为10～50W，刻蚀时腔体的压力为10～50mT，刻蚀气体包括SF6或CF4。
9.根据权利要求1或9所述的制备方法，其特征在于，所述垂直刻蚀
...【技术特征摘要】
1.一种柱状棱镜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述模具的材质包括单质硅或石英。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述模具的尺寸为6～8寸，厚度为0.7～1mm。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一压印胶为硅氧烷聚合物。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第二压印胶为环氧树脂类压印胶。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：周建锋，赵华琦，刘守航，袁万利，
申请(专利权)人：华天慧创科技西安有限公司，
类型：发明
国别省市：
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