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载置台控制装置、光刻装置以及物品制造方法。控制载置台的载置台控制装置具备：编码器，被构成为包括标尺以及头，测量所述载置台的位置；温度测量器；以及控制部，根据所述编码器的输出以及所述温度测量器的输出来控制所述载置台，所述标尺具有具备由所述头编...
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