具横向配置过滤器的液体过滤器单元及操作其的方法技术

本发明专利技术公开一种过滤器单元，其包含外壳、安置在所述外壳中的第一过滤器及第二过滤器及连续地延伸穿过所述第一及第二过滤器的液体流径。所述第一过滤器包含附装到所述外壳的第一轴向端及第一过滤介质。所述第二过滤器包含在所述出口处附装到所述外壳的第一轴向端及第二过滤介质。引导所述液体径向向外穿过所述第一过滤介质且径向向内穿过所述第二过滤介质。一种在过滤器单元内过滤液体的方法包含：使所述液体径向向外行进穿过第一过滤器的第一过滤介质，将所述液体从所述第一过滤器引导到第二过滤器，及使所述液体径向向内行进穿过所述第二过滤器的第二过滤元件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开大体上涉及一种过滤器单元。更特定来说，本公共涉及经配置以过滤液体的过滤器单元。

技术介绍

1、过滤器可用于半导体制造中以从流体移除污染物。流体(例如，液体、水或类似者)被引导穿过过滤器单元。过滤器单元可经配置以当液体行进穿过过滤器时从液体移除污染物。污染物可包含例如固体粒子、液体杂质及溶解的化学物种。

技术实现思路

1、在实施例中，一种用于过滤液体的过滤器单元包含具有入口及出口的外壳、安置在所述外壳中的第一过滤器、安置在所述外壳中的第二过滤器及液体流径。所述第一过滤器包含附装到所述外壳的内表面的第一轴向端、安置在所述外壳的所述入口的开口上方的轴向入口及第一过滤介质。所述第二过滤器包含附装到所述外壳的所述内表面的第一轴向端、安置在所述外壳中的所述出口的开口上方的轴向出口及第二过滤介质。所述液体流径从所述入口连续地延伸穿过所述第一过滤介质及所述第二过滤介质到所述出口。所述液体流径中的所述液体径向向外流动穿过所述第一过滤介质且径向向内流动穿过所述第二过滤介质。

2、在实施例中，一种方法涉及过滤过滤本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于过滤液体的过滤器单元，其包括：

2.根据权利要求1所述的过滤器单元，其中

3.根据权利要求1所述的过滤器单元，其中

4.根据权利要求1所述的过滤器单元，其中所述第一过滤器在所述外壳内与所述第二过滤器间隔开。

5.根据权利要求1所述的过滤器单元，其中所述第一过滤器及所述第二过滤器并排安置在所述外壳内。

6.根据权利要求1所述的过滤器单元，其中所述液体流径依次包含：

7.根据权利要求6所述的过滤器单元，其中所述第三部分在第一方向上延伸，所述第一方向相对于所述第一过滤器径向向外且相对于所述第二过滤器径向向内。<...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种用于过滤液体的过滤器单元，其包括：

2.根据权利要求1所述的过滤器单元，其中

3.根据权利要求1所述的过滤器单元，其中

4.根据权利要求1所述的过滤器单元，其中所述第一过滤器在所述外壳内与所述第二过滤器间隔开。

5.根据权利要求1所述的过滤器单元，其中所述第一过滤器及所述第二过滤器并排安置在所述外壳内。

6.根据权利要求1所述的过滤器单元，其中所述液体流径依次包含：

7.根据权利要求6所述的过滤器单元，其中所述第三部分在第一方向上延伸，所述第一方向相对于所述第一过滤器径向向外且相对于所述第二过滤器径向向内。

8.根据权利要求1所述的过滤器单元，其中所述第一过滤介质及所述第二过滤介质各自选自膜、树脂珠粒、中空纤维、深度纤维、海绵基介质或其组合。

9.根据权利要求1所述的过滤器单元，其中所述第一过滤介质及所述第二过滤介质是相同类型的过滤介质。

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【专利技术属性】
技术研发人员：S·桑帕斯，克里斯托弗·保罗·巴克，A·S·巴哈贝赫，H·林奇科姆，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：