球面多条型阴极Ｖ型悬上斜方栅控制结构的平板显示器及其制作工艺制造技术

本发明专利技术特别涉及一种球面多条型阴极Ｖ型悬上斜方栅控制结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和玻璃边框所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板上的阳极传导层、阳极连线层、阳极分隔层以及制备在阳极传导层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的分隔支撑器以及消气剂；所述的球面多条型阴极Ｖ型悬上斜方栅控制结构包括阴极玻璃面板、阻挡层、阴极底层、阴极连线层、阴极增高层、阴极度越一层、阴极度越二层、阴极牺牲层、绝缘一层、绝缘二层、栅极电极层、栅极连线层、绝缘三层、碳纳米管部分；具有成本低廉、制作工艺简单、制作过程稳定可靠的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于平板显示
、纳米科学与
以及真空科学与
的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作，特别涉及一种球面多条型阴极v型悬上斜方栅控制结构的平板显示器及其制作工艺。
技术介绍
场致发射显示器属于平板显示器件中的一种类型，也是最近几年中新兴的显示器 件，其原理与现有的CRT显示器的工作原理相类似，因而保留了 CRT显示器的高图像质量特 性，但却具有薄型化、大面积化、低功耗化、低制作成本、宽的工作温区以及快响应速度等优 越之处，已经被公认为是下一代的理想显示市场产品。碳纳米管是一种薄薄的石墨层巻曲 而成的管状物质，能够在较低的电场强度下发射出大量的电子，因此非常适合于用作场致 发射显示器的阴极材料。对于利用碳纳米管作为阴极材料而制作的场致发射显示器而言， 已经引起了众多科研人员的高度关注，并进行了大量的研究。 为了进一步降低器件制作成本以及更好的显示动态图像，制作三极结构的平板场 致发射显示器已经成为了一种必然的选择。但是在目前所研发的三极结构碳纳米管场致发 射显示器件中，一方面，由于栅极结构的加入，对栅极制作材料的要求极高，其制作工艺也 比较复杂，因而造成器件制作成本居高不下；另一方面，所制作的三极结构平板显示器，普 遍还都存在着栅极工作电压过高、栅极工作电流偏大等不利之处，还需要投入大量的财力 和物力进行研究。而对于碳纳米管阴极的制作工艺以及制作结构，也还没有一个令人满意 的方案。此外，对于整体平板显示器件的制作，制作工艺简单、制作过程稳定可靠也是不可 忽视的一个重要方面。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作工艺简单的球面多条型阴极V型悬上斜方栅控制结构的平板显示器及其制作工艺。 本专利技术的目的是这样实现的 —种球面多条型阴极V型悬上斜方栅控制结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面 板18、阴极玻璃面板1和玻璃边框21所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板18上的 阳极传导层19、阳极连线层22、阳极分隔层20以及制备在阳极传导层19上面的荧光粉层 17 ;位于阳极玻璃面板18和阴极玻璃面板1之间的分隔支撑器16以及消气剂15 ;其特征 在于 所述的球面多条型阴极V型悬上斜方栅控制结构的基底材料为阴极玻璃面板；阴 极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阻挡层2 ;阻挡层上面存在阴极底层3 ;阴极底层5呈现条形形状；阴极底层的周围存在阴极连线层4，阴极连线层和阴极底层是相互连通的； 阴极底层上面存在阴极增高层5，阴极增高层为半球型形状，其下表面为平面，和阴极底层 相接触，阴极增高层的上表面为球面型；阴极增高层上面存在阴极度越一层6和阴极度越 二层7，阴极度越一层和阴极度越二层是相互连通的；阴极度越一层位于阴极底层的上表 面，呈现圆环型形状，其圆环外直径为阴极底层下表面直径的五分之三，圆环内直径为阴极 底层下表面直径的五分之二 ；阴极度越二层位于阴极底层上表面阴极度越一层中，为两条 相互交叉的直条型形状，即总体呈现X型形状，其末端和阴极度越一层相连通；阴极度越一 层和阴极度越二层的上面存在阴极牺牲层8 ;阴极底层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成绝 缘一层9 ;绝缘一层的上下表面均为平面，下表面和阴极底层相接触，上表面的高度和阴极 度越一层外边缘的高度相平齐；绝缘一层位于相邻阴极增高层之间，绝缘一层的侧面呈现 向内凹陷弧形形状，和阴极增高层相接触；绝缘一层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成绝缘 二层IO，绝缘二层的下表面为平面，和绝缘一层的上表面相接触；绝缘二层中存在方型通 道孔，暴露出阴极增高层、阴极度越一层、阴极度越二层、阴极牺牲层，通道孔的侧壁是垂直 于绝缘一层上表面的；绝缘二层上表面存在V型凹陷坑，V型凹陷坑的末端位于绝缘二层上 表面和通道孔相交处；绝缘二层上面存在栅极电极层ll，栅极电极层位于绝缘二层上V型 凹陷坑内，其前端延伸到通道孔中，呈现悬空状态；栅极电极层的周围存在栅极连线层12， 栅极连线层和栅极电极层是相互连通的；绝缘二层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成绝缘三 层13，绝缘三层要覆盖栅极电极层和栅极连线层；碳纳米管14制备在阴极牺牲层上面。 所述的球面多条型阴极V型悬上斜方栅控制结构的固定位置为安装固定在阴极 玻璃面板上；阴极底层为金属金、银、铜、铝、铅、锡、钼、铬、铟之一 ；阴极连线层为金属金、 银、铜、铝、铅、锡、钼、铬、铟之一 ；阴极增高层为金属金、银、铜、铝、铅、锡、钼、铬、铟之一 ； 阴极度越一层为金属铁、钴、镍之一 ；阴极度越二层为金属铁、钴、镍之一 ；阴极牺牲层为金 属铁、钴、镍之一 ；栅极电极层为金属金、银、铜、铝、铅、锡、钼、铬、铟之一 ；栅极连线层为金 属金、银、铜、铝、铅、锡、钼、铬、铟之一 ；阴极底层的走向和栅极电极层的走向是相互垂直 的。 —种球面多条型阴极V型悬上斜方栅控制结构的平板显示器的制作工艺，其特征 在于，其制作步骤如下 1)阴极玻璃面板1的制作对整体平板玻璃进行切割，制作出阴极玻璃面板； 2)阻挡层2的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形 成阻挡层； 3)阴极底层3的制作在阻挡层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极 底层； 4)阴极连线层4的制作在阴极玻璃面板上印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形 成阴极连线层； 5)阴极增高层5的制作在阴极底层的上面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形 成阴极增高层； 6)阴极度越一层6和阴极度越二层7的制作在阴极增高层的上表面制备出金属 层，经常规刻蚀工艺后形成阴极度越一层和阴极度越二层； 7)阴极牺牲层8的制作在阴极度越一层和阴极度越二层的上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极牺牲层； 8)绝缘一层9的制作在阴极底层上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成绝缘一层； 9)绝缘二层10的制作在绝缘二层的上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成绝缘二层； 10)栅极电极层11的制作在绝缘二层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极电极层； 11)栅极连线层12的制作在栅极电极层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅极连线层； 12)绝缘三层13的制作在绝缘二层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成绝缘三层； 13)球面多条型阴极V型悬上斜方栅控制结构的表面清洁处理对球面多条型阴极V型悬上斜方栅控制结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘； 14)碳纳米管14的制备将碳纳米管制备在阴极牺牲层的上面； 15)阳极玻璃面板18的制作对整体平板玻璃进行切割，制作出阳极玻璃面板； 16)阳极传导层19的制作在阳极玻璃面板上制备出锡铟氧化物膜层，经常规刻蚀工艺后形成阳极传导层； 17)阳极连线层22的制作在阳极传导层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极连线层； 18)阳极分隔层20的制作在阳极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极分隔层； 19)荧光粉层17的制备在阳极传导层上面印刷荧光粉，经常规烘烤工艺后形成荧光粉层； 20)器件装配将阳极玻璃面板、阴极玻璃面板、分隔支撑器16、玻璃本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种球面多条型阴极Ｖ型悬上斜方栅控制结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板（１８）、阴极玻璃面板（１）和玻璃边框（２１）所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板（１８）上的阳极传导层（１９）、阳极连线层（２２）、阳极分隔层（２０）以及制备在阳极传导层（１９）上面的荧光粉层（１７）；位于阳极玻璃面板（１８）和阴极玻璃面板（１）之间的分隔支撑器（１６）以及消气剂（１５）；其特征在于：所述的球面多条型阴极Ｖ型悬上斜方栅控制结构的基底材料为阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阻挡层（２）；阻挡层上面存在阴极底层（３）；阴极底层呈现条形形状；阴极底层的周围存在阴极连线层（４），阴极连线层和阴极底层是相互连通的；阴极底层上面存在阴极增高层（５），阴极增高层为半球型形状，其下表面为平面，和阴极底层相接触，阴极增高层的上表面为球面型；阴极增高层上面存在阴极度越一层（６）和阴极度越二层（７），阴极度越一层和阴极度越二层是相互连通的；阴极度越一层位于阴极底层的上表面，呈现圆环型形状，其圆环外直径为阴极底层下表面直径的五分之三，圆环内直径为阴极底层下表面直径的五分之二；阴极度越二层位于阴极底层上表面阴极度越一层中，为两条相互交叉的直条型形状，即总体呈现Ｘ型形状，其末端和阴极度越一层相连通；阴极度越一层和阴极度越二层的上面存在阴极牺牲层（８）；阴极底层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成绝缘一层（９）；绝缘一层的上下表面均为平面，下表面和阴极底层相接触，上表面的高度和阴极度越一层外边缘的高度相平齐；绝缘一层位于相邻阴极增高层之间，绝缘一层的侧面呈现向内凹陷弧形形状，和阴极增高层相接触；绝缘一层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成绝缘二层（１０），绝缘二层的下表面为平面，和绝缘一层的上表面相接触；绝缘二层中存在方型通道孔，暴露出阴极增高层、阴极度越一层、阴极度越二层、阴极牺牲层，通道孔的侧壁是垂直于绝缘一层上表面的；绝缘二层上表面存在Ｖ型凹陷坑，Ｖ型凹陷坑的末端位于绝缘二层上表面和通道孔相交处；绝缘二层上面存在栅极电极层（１１），栅极电极层位于绝缘二层上Ｖ型凹陷坑内，其前端延伸到通道孔中，呈现悬空状态；栅极电极层的周围存在栅极连线层（１２），栅极连线层和栅极电极层是相互连通的；绝缘二层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成绝缘三层（１３），绝缘三层要覆盖栅极电极层和栅极连线层；碳纳米管（１４）制备在阴极牺牲层上面。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李玉魁，
申请(专利权)人：中原工学院，
类型：发明
国别省市：41[中国|河南]