倒Ｙ型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器及其制作工艺制造技术

本发明专利技术特别涉及倒Ｙ型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和玻璃边框所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板上的阳极传导层、阳极连线层、阳极隔离层以及制备阳极传导层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的隔离支撑器和消气剂；所述的倒Ｙ型斜高栅单尖端阴极控制结构包括阴极玻璃面板、阻挡隔离层、阴极导电层、阴极连线层、阴极提升层、阴极过渡一层、阴极过渡二层、阴极牺牲层、栅阴间隔一层、栅极电极一层、栅极连线层、栅阴间隔二层、栅极电极二层、栅阴间隔三层、碳纳米管部分；具有成本低廉、制作工艺简单、制作过程稳定可靠的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于平板显示
、纳米科学与
以及真空科学与
的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作，特别涉及一种倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示 器及其制作工艺。
技术介绍
显示器的主要功能就是进行显示图像，目前，平板显示器这个名词已经为大家所 熟悉，平板显示器件也逐渐走入人们的日常生活，并成为显示市场产品的主流设备。场致 发射显示器是最近几年中新兴的一种平板显示装置，它集成了目前主流显示器件的优越之 处，例如具有CRT显示器的高图像质量、液晶显示器的超薄型以及等离子体显示器的大面 积性等等，并兼顾具有低功耗、低制作成本以及宽的工作温区等特性，已经被公认为是理想 的下一代显示装置。碳纳米管是一种薄薄的石墨层管状物质，能够在外加较低电场强度下 发射出大量的电子，是一种优秀的场致发射阴极材料。将碳纳米管应用于场致发射显示器 中，加速了场致发射平板显示器的研究进展。而在目前所研发的三极结构场致发射显示器 中，普遍都存在着器件制作成本高、器件制作工艺复杂、栅极工作电压偏高等不利之处，而 且对于器件制作材料的要求也比较高，这些不利之处都在阻碍着场致发射显示器的研究进 展。而对于碳纳米管阴极的制作工艺以及制作结构也没有一个令人满意的方案，都还需要 进行大量的研究和开发。此外，对于整体平板显示器件的制作，制作工艺简单、制作过程稳 定可靠也是不可忽视的一个重要方面。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本 低廉、制作过程稳定可靠、制作工艺简单的倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示 器及其制作工艺。 本专利技术的目的是这样实现的 —种倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板20、 阴极玻璃面板1和玻璃边框17所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板上的阳极传导层 19、阳极连线层23、阳极隔离层21以及制备阳极传导层上面的荧光粉层18 ;位于阳极玻璃 面板和阴极玻璃面板之间的隔离支撑器22和消气剂16 ;其特征在于 所述的倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的基底材料为阴极玻璃面板；在阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阻挡隔离层2 ;阻挡隔离层上面存在阴极导电层3 ;阴极导电层为条形形状；阴极导电层的周围存在阴极连线层4，阴极连线层和阴极导电层是 相互连通的；阴极导电层上面存在阴极提升层5，阴极提升层呈现圆锥型形状，其底面为平 面，和阴极导电层相接触；阴极提升层上面存在阴极过渡一层6和阴极过渡二层7，阴极过5渡一层呈现圆环型形状，位于阴极提升层侧面中间位置，其下边缘的高度和阴极提升层半 高度相平齐，阴极过渡一层位于圆锥型阴极提升层的尖端位置，阴极过渡一层和阴极过渡 二层是不互相连接的；阴极过渡一层和阴极过渡二层上面存在阴极牺牲层8 ;阴极导电层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成栅阴间隔一层9 ;栅阴间隔一层的上下表面均为平面，下表面和阴极导电层相接触；栅阴间隔一层中存在电子束孔，侧壁垂直于阴极导电层表面，并 暴露出底部的部分阴极导电层、阴极提升层、阴极过渡一层、阴极过渡二层和阴极牺牲层；栅阴间隔一层上面存在栅极电极一层io，栅极电极一层的前端延伸到电子束孔中，呈现悬空状态；栅极电极一层的周围存在栅极连线层ll，栅极连线层和栅极电极一层是相互连通 的；栅阴间隔一层上面存在栅阴间隔二层12，栅阴间隔二层呈现直角三角型形状，一条直 角边形成下表面，和栅阴间隔一层相接触，栅阴间隔二层的另一条直角边和栅阴间隔一层 中电子束孔的侧壁是相平行的，且位于同一垂直面上；栅阴间隔二层的斜坡面上存在栅极 电极二层13，栅极电极二层布满栅阴间隔二层的斜边表面，且前端延伸到电子束孔中，呈 现悬空状态；栅极电极二层和栅极电极一层是相互连通的；栅阴间隔二层上面存在栅阴间 隔三层14，栅阴间隔三层要覆盖栅极电极二层和栅极连线层；碳纳米管15制备在阴极牺 牲层的上面。所述的阴极导电层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一 ；阴极连线层为 金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一 ；阴极提升层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬 之一 ；阴极过渡一层为金属铁、钴、镍之一 ；阴极过渡二层为金属铁、钴、镍之一 ；阴极牺牲 层为金属铁、钴、镍之一 ；栅极电极一层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一 ；栅极电 极二层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一 ；栅极连线层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、 铝、钼、铬之一；栅极电极一层的走向和阴极导电层的走向是相互垂直的。 —种倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于， 其制作步骤如下 1)阴极玻璃面板1的制作对整体平板玻璃进行切割，制作出阴极玻璃面板； 2)阻挡隔离层2的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺 后形成阻挡隔离层； 3)阴极导电层3的制作在阻挡隔离层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形 成阴极导电层； 4)阴极连线层4的制作在阴极导电层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后 形成阴极连线层； 5)阴极提升层5的制作在阴极导电层的上面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后 形成阴极提升层； 6)阴极过渡一层6和阴极过渡二层7的制作在阴极提升层上面制备出金属层， 经常规刻蚀工艺后分别形成阴极过渡一层和阴极过渡二层； 7)阴极牺牲层8的制作在阴极过渡一层和阴极过渡二层的上面制备出金属层， 经常规刻蚀工艺后形成阴极牺牲层； 8)栅阴间隔一层9的制作在阴极导电层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工 艺后形成栅阴间隔一层； 9)栅极电极一层10的制作在栅阴间隔一层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺 后形成栅极电极一层；6 10)栅极连线层11的制作在栅极电极一层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工 艺后形成栅极连线层； 11)栅阴间隔二层12的制作在栅阴间隔一层的上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、 烧结工艺后形成栅阴间隔二层； 12)栅极电极二层13的制作在栅阴间隔二层的斜坡面上制备出金属层，经常规 刻蚀工艺后形成栅极电极二层； 13)栅阴间隔三层14的制作在栅阴间隔二层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧 结工艺后形成栅阴间隔三层； 14)倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的表面清洁处理对倒Y型斜高栅单尖端 阴极控制结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘； 15)碳纳米管15的制备将碳纳米管制备在阴极牺牲层的上面； 16)阳极玻璃面板20的制作对整体平板玻璃进行切割，制作出阳极玻璃面板； 17)阳极传导层19的制作在阳极玻璃面板上制备出锡铟氧化物膜层，经常规刻 蚀工艺后形成阳极传导层； 18)阳极连线层23的制作在阳极玻璃面板上印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后 形成阳极连线层； 19)阳极隔离层21的制作在阳极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工 艺后形成阳极隔离层； 20)荧光粉层18的制备在阳极传导层的上面印刷荧光粉，经常规烘烤工艺后形 成荧光粉层； 21)器件装配将阳极玻璃面板、阴极玻璃面板、隔离支撑器22、玻璃边框1 7装配到一起，并将消气剂16安装到空室当中，用低熔点玻璃粉固定； 22)本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种倒Ｙ型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板（２０）、阴极玻璃面板（１）和玻璃边框（１７）所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板上的阳极传导层（１９）、阳极连线层（２３）、阳极隔离层（２１）以及制备阳极传导层上面的荧光粉层（１８）；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的隔离支撑器（２２）和消气剂（１６）；其特征在于：所述的倒Ｙ型斜高栅单尖端阴极控制结构的基底材料为阴极玻璃面板；在阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阻挡隔离层（２）；阻挡隔离层上面存在阴极导电层（３）；阴极导电层为条形形状；阴极导电层的周围存在阴极连线层（４），阴极连线层和阴极导电层是相互连通的；阴极导电层上面存在阴极提升层（５），阴极提升层呈现圆锥型形状，其底面为平面，和阴极导电层相接触；阴极提升层上面存在阴极过渡一层（６）和阴极过渡二层（７），阴极过渡一层呈现圆环型形状，位于阴极提升层侧面中间位置，其下边缘的高度和阴极提升层半高度相平齐，阴极过渡一层位于圆锥型阴极提升层的尖端位置，阴极过渡一层和阴极过渡二层是不互相连接的；阴极过渡一层和阴极过渡二层上面存在阴极牺牲层（８）；阴极导电层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成栅阴间隔一层（９）；栅阴间隔一层的上下表面均为平面，下表面和阴极导电层相接触；栅阴间隔一层中存在电子束孔，侧壁垂直于阴极导电层表面，并暴露出底部的部分阴极导电层、阴极提升层、阴极过渡一层、阴极过渡二层和阴极牺牲层；栅阴间隔一层上面存在栅极电极一层（１０），栅极电极一层的前端延伸到电子束孔中，呈现悬空状态；栅极电极一层的周围存在栅极连线层（１１），栅极连线层和栅极电极一层是相互连通的；栅阴间隔一层上面存在栅阴间隔二层（１２），栅阴间隔二层呈现直角三角型形状，一条直角边形成下表面，和栅阴间隔一层相接触，栅阴间隔二层的另一条直角边和栅阴间隔一层中电子束孔的侧壁是相平行的，且位于同一垂直面上；栅阴间隔二层的斜坡面上存在栅极电极二层（１３），栅极电极二层布满栅阴间隔二层的斜边表面，且前端延伸到电子束孔中，呈现悬空状态；栅极电极二层和栅极电极一层是相互连通的；栅阴间隔二层上面存在栅阴间隔三层（１４），栅阴间隔三层要覆盖栅极电极二层和栅极连线层；碳纳米管（１５）制备在阴极牺牲层的上面。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李玉魁，
申请(专利权)人：中原工学院，
类型：发明
国别省市：41[中国|河南]