【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种单晶炉保温筒、热场结构及单晶炉。
技术介绍
1、单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。直拉单晶炉的热系统，也就是所谓的热场，是指为了熔化硅料，并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统，热场的优劣对单晶硅的质量有很大影响，合适的热场才能够生长出高质量的单晶。
2、目前，保温筒材质为碳碳材质，且保温筒外壁包裹10～15层炭毡，两者在高温下会挥发灰分(杂质)，从而影响单晶品质质量；且两者的保温性能一般，在高温时间较长后就会出现粉化或被腐蚀，导致保温性能差，影响单晶拉制，并相对的增加了功耗，浪费成本。
3、因此，如何减少高温下保温毡(即炭毡)和保温筒的腐蚀，增加热场稳定性，节约功耗，减少成本，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术的一个目的在于提供一种单晶炉保温筒，能减少高温下保温毡和保温筒的腐蚀，增加热场稳定性，节约功耗。另一个目的在于提供一种单晶炉热场结构。...
【技术保护点】
1.一种单晶炉保温筒，其特征在于，包括上保温筒、中保温筒、下保温筒和多个钼保温筒；所述上保温筒、中保温筒和下保温筒设置在单晶炉内；
2.根据权利要求1所述的单晶炉保温筒，其特征在于，还包括保温支撑件；所述保温支撑件设置在所述上保温筒和所述中保温筒之间，所述保温支撑件设置为环形结构。
3.根据权利要求2所述的单晶炉保温筒，其特征在于，所述上保温筒的下部设置为嵌入所述保温支撑件的上部。
4.根据权利要求3所述的单晶炉保温筒，其特征在于，所述上保温筒、中保温筒、下保温筒和多个钼保温筒均设置为圆筒形结构，且几者的中心轴线重合。
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【技术特征摘要】
1.一种单晶炉保温筒，其特征在于，包括上保温筒、中保温筒、下保温筒和多个钼保温筒；所述上保温筒、中保温筒和下保温筒设置在单晶炉内；
2.根据权利要求1所述的单晶炉保温筒，其特征在于，还包括保温支撑件；所述保温支撑件设置在所述上保温筒和所述中保温筒之间，所述保温支撑件设置为环形结构。
3.根据权利要求2所述的单晶炉保温筒，其特征在于，所述上保温筒的下部设置为嵌入所述保温支撑件的上部。
4.根据权利要求3所述的单晶炉保温筒，其特征在于，所述上保温筒、中保温筒、下保温筒和多个钼保温筒均设置为圆筒形结构，且几者的中心轴线重合。
5.根据权利要求4所述的单晶炉保温筒，其特征在于，所述中保温筒和所述下保温筒的直径相...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈国良，李海明，刘玉斌，马慧慧，
申请(专利权)人：双良硅材料包头有限公司，
类型：新型
国别省市：
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