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本技术公开了一种单晶炉保温筒、热场结构及单晶炉。该单晶炉保温筒包括上保温筒、中保温筒、下保温筒和多个钼保温筒；所述上保温筒、中保温筒和下保温筒设置在单晶炉内；所述上保温筒、中保温筒和下保温筒由上至下依次连接；所述多个钼保温筒嵌入设置在所述中...
该专利属于双良硅材料（包头）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过双良硅材料（包头）有限公司授权不得商用。

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