直写印刷微纳米凹陷模板仿生构筑柔性压力传感器的方法技术

本发明专利技术提供一种直写印刷微纳米凹陷模板仿生构筑柔性压力传感器的方法，涉及压力传感器领域，其包括以下步骤：S1、制备支撑材料基底；S2、制备粘弹性流体；S3、预固化；S4、设定打印参数进行打印，得到具有微纳米凹陷结构的模板；S5、改性处理；S6、固化；S7、制备柔性电极；S8、制备超灵敏多层级多模式柔性压力传感器。本发明专利技术利用直写印刷在粘弹性基底表面打印可控微纳米凹陷结构，进而构筑微纳米凸起结构柔性电极，提升了传感器的性能，实现超灵敏多层级多模式柔性压力传感器的制备。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及压力传感器领域，具体涉及一种直写印刷微纳米凹陷模板仿生构筑柔性压力传感器的方法。

技术介绍

1、近年来，柔性压力传感器以其良好的机械柔韧性能和优异的压力传感性能，在可穿戴设备、生命医疗、智慧城市、电子皮肤及运动检测等人机界面交互领域中发挥着重要作用。为了满足柔性压力传感器对精确捕捉压力信号、多维度感知响应、快速稳定输出等超灵敏压力传感的要求，需要从材料选择、结构设计、加工工艺等方面进行系统研究。其中，微纳米结构柔性电极决定着在受到压力时传感区域的比表面积、可形变空间和形变能力等，对柔性压力传感器压力传感性能有着重要影响。现有的微纳米结构加工方法包括借助天然微纳米凸起结构复型、自组装模板、掩膜及刻蚀等，然而这些方法存在微纳米结构形状和分布随机、对设备精度及工艺过程要求高等缺陷，难以实现微纳米凸起结构柔性电极的可控构筑，限制了超灵敏柔性压力传感器的制备。

2、直写印刷作为一种微纳米结构加工方法受到了广泛关注。与其他的微纳米结构制造方法相比，直写印刷是将功能材料(纳米颗粒、高分子、液体等)分散或溶解在溶剂中制成墨水,利用自动化设备控制直本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种直写印刷微纳米凹陷模板仿生构筑柔性压力传感器的方法，其特征在于：其包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的直写印刷微纳米凹陷模板仿生构筑柔性压力传感器的方法，其特征在于：步骤S1中支撑材料为聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、硅片、玻璃或金属板中的一种。

3.根据权利要求1所述的直写印刷微纳米凹陷模板仿生构筑柔性压力传感器的方法，其特征在于：步骤S2中预聚物具有粘弹性，预聚物为聚二甲基硅氧烷、环氧树脂、热塑性聚氨酯或天然橡胶中的一种。

4.根据权利要求1所述的直写印刷微纳米凹陷模板仿生构筑柔性压力传感器的方法，其特征在于：步骤S3中预固化方式包括热...

【技术特征摘要】

1.一种直写印刷微纳米凹陷模板仿生构筑柔性压力传感器的方法，其特征在于：其包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的直写印刷微纳米凹陷模板仿生构筑柔性压力传感器的方法，其特征在于：步骤s1中支撑材料为聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、硅片、玻璃或金属板中的一种。

3.根据权利要求1所述的直写印刷微纳米凹陷模板仿生构筑柔性压力传感器的方法，其特征在于：步骤s2中预聚物具有粘弹性，预聚物为聚二甲基硅氧烷、环氧树脂、热塑性聚氨酯或天然橡胶中的一种。

4.根据权利要求1所述的直写印刷微纳米凹陷模板仿生构筑柔性压力传感器的方法，其特征在于：步骤s3中预固化方式包括热固化及光固化。

5.根据权利要求1所述的直写印刷微纳米凹陷模板仿生构筑柔性压力传感器的方法，其特征在于：步骤s4中采用纳米粒子墨水，在粘弹性基底表面直写印刷，墨滴接触的粘弹性基底表面区域内会发生凹陷...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙加振，王硕，康海婷，
申请(专利权)人：齐鲁工业大学山东省科学院，
类型：发明
国别省市：