【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能电池制备，尤其是涉及一种提升栅线结合力的太阳能电池的生产工艺和太阳能电池。
技术介绍
1、金属化是硅太阳能电池制备中的关键工艺之一，主要用于制作硅太阳能电池电极，将pn结两端形成欧姆接触，实现电流输出。目前丝网印刷是最成熟且最普遍的金属化工艺，但由于其所使用的银浆成本高，已成为限制产业推广的重要因素，因此传统丝网印刷工艺无法满足新型高效电池的需求。
2、电镀技术作为一种非接触式电极制备技术，能够实现银浆的完全替代，且性能优异，同时能够降低成本。电镀技术通常需要在硅表面先镀上一层镍作为种子层，然后再沉积导电层金属铜。镍层的存在一方面可以防止铜离子扩散进入硅中，从而防止减少硅太阳能电池寿命；另一方面可以形成镍硅合金降低接触电阻。
3、然而，硅对氧具有极强的亲和力，其表面很容易形成致密的氧化膜，严重地妨碍了金属镀层与硅基底的牢固结合；上述问题会严重地妨碍后续电镀层(尤其是作为种子层的镀镍层)与硅基底的牢固结合，从而严重影响了硅太阳能电池片的金属电极质量。
4、有鉴于此，特提出本专利技术。
【技术保护点】
1.一种提升栅线结合力的太阳能电池的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的生产工艺，其特征在于，步骤A中，所述等离子体处理的过程包括：
3.根据权利要求2所述的生产工艺，其特征在于，所述混合气体包括氢气、氮气、氩气、氦气和四氟甲烷中的至少一种；
4.根据权利要求1所述的生产工艺，其特征在于，还包括在步骤A之前的除油清洗过程；
5.根据权利要求4所述的生产工艺，其特征在于，所述超声清洗的频率为40KHz～120KHz，温度为20℃～50℃，时间为5min～20min。
6.根据权利要求4...
【技术特征摘要】
1.一种提升栅线结合力的太阳能电池的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的生产工艺，其特征在于，步骤a中，所述等离子体处理的过程包括：
3.根据权利要求2所述的生产工艺，其特征在于，所述混合气体包括氢气、氮气、氩气、氦气和四氟甲烷中的至少一种；
4.根据权利要求1所述的生产工艺，其特征在于，还包括在步骤a之前的除油清洗过程；
5.根据权利要求4所述的生产工艺，其特征在于，所述超声清洗的频率为40khz～120khz，温度为20℃～50℃，时间为5min～20min。
6.根据权利要求4所述的生...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐义武，李苏强，李科伟，俞超，
申请(专利权)人：环晟光伏江苏有限公司，
类型：发明
国别省市：
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