一种晶圆平口定位机构制造技术

本技术揭示了一种晶圆平口定位机构，用于支撑晶圆的支撑座固定在转轴顶部，所述晶圆水平放置在支撑座上，所述支撑座一侧设有位于晶圆上方的上检测臂、位于晶圆下方的下检测臂，所述上检测臂的下表面固定有向下照射的光源发射器，所述下检测臂的上表面设有接收光源发射器发出光源的光源接收器。本技术通过双重光源定位，能够精准定位平口位置，整体结构简单，运作稳定可靠，降低了晶圆平口定位的设备成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆检测。

技术介绍

1、晶圆生产时，需要检测出平口位置，目前常用的检测设备比较复杂，通过工业相机拍摄，再利用图像处理技术完成对平口位置的精确定位。

2、例如公开号为cn116093000a，公开日为2023年5月9日，专利名称为《一种晶圆自动对位装置及其对位方法》的公开文献，公开了一种晶圆自动对位装置及其对位方法，包括：晶圆寻边器，该晶圆寻边器上设有用于吸附晶圆的吸附载台，所述晶圆寻边器带动吸附载台沿x轴、y轴移动并旋转至设定角度；大视野相机，该大视野相机设有两组并分别位于晶圆寻边器顶部的两侧，以分别采集被测晶圆的弧边图像信息；控制器，控制器用于获取弧边图像信息以确定晶圆圆心位置与预设位置的偏差值，并将偏差值发送至晶圆寻边器。本申请由大视野相机来采集被测晶圆的弧边图像信息，由被测晶圆的弧边图像信息来确定被测晶圆的圆心位置与预设位置的偏差值。控制器将偏差值发送至晶圆寻边器，晶圆寻边器将被测晶圆的圆心位置与预设位置重合，完成晶圆的自动纠正对位。

3、类似的设备对于软件、硬件的要求极高，无形中增加了设备成本，因此需要一种既能精本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆平口定位机构，其特征在于：用于支撑晶圆的支撑座固定在转轴顶部，所述晶圆水平放置在支撑座上，所述支撑座一侧设有位于晶圆上方的上检测臂、位于晶圆下方的下检测臂，所述上检测臂的下表面固定有向下照射的光源发射器，所述下检测臂的上表面设有接收光源发射器发出光源的光源接收器；

2.根据权利要求1所述的晶圆平口定位机构，其特征在于：所述光源发射器设有两组，每组独立的呈条状布置且并排设置，两组所述光源发射器一组为LED紫外光灯，另一组为红外光线灯，所述光源接收器对应也设有两组分别接收LED紫外光灯和红外光线灯信号。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆平口定位机构，其特征...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆平口定位机构，其特征在于：用于支撑晶圆的支撑座固定在转轴顶部，所述晶圆水平放置在支撑座上，所述支撑座一侧设有位于晶圆上方的上检测臂、位于晶圆下方的下检测臂，所述上检测臂的下表面固定有向下照射的光源发射器，所述下检测臂的上表面设有接收光源发射器发出光源的光源接收器；

2.根据权利要求1所述的晶圆平口定位机构，其特征在于：所述光源发射器设有两组，每组独立的呈条状布置且并排设置，两组所述光源发射器一组为led紫外光灯，另一组为红外光线灯，所述光源接收器对应也设有两组分别接收led紫外光灯和红外光线灯信号。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆平口定位机构，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓洪，
申请(专利权)人：杭州海乾半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：