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本技术揭示了一种晶圆平口定位机构，用于支撑晶圆的支撑座固定在转轴顶部，所述晶圆水平放置在支撑座上，所述支撑座一侧设有位于晶圆上方的上检测臂、位于晶圆下方的下检测臂，所述上检测臂的下表面固定有向下照射的光源发射器，所述下检测臂的上表面设有接收...
该专利属于杭州海乾半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州海乾半导体有限公司授权不得商用。

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