【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及陶瓷基板制备，特别涉及一种陶瓷基板内部微缺陷的自动化批量检测系统及其方法。
技术介绍
1、在电子电力模块技术中，陶瓷材料具有优异的绝缘、机械性能，兼备较低的热阻系数，因而被运用到覆铜基板的基材，成为各种芯片的承载体，使其在高温中仍能保持良好的机械性能。在以上大电流功率器件的背景要求之下，陶瓷内部的微裂纹及void极易造成层间击穿造成电子元件的损坏，从而导致功率器件模块的失效。
2、传统的陶瓷内部的缺陷检测通常为x-ray、超声波c扫等方式，而这些缺陷检测缺少在终端产品的可靠性的体现，只能在一定限度内呈现缺陷，但无法量化缺陷对绝缘性能影响的好坏，部分检测方法为制样检验，不方便对产品整体检测。目前耐压测试作为一种可直观判断绝缘性能的方法被基板行业广为使用，通常使用多探头检验所有铜岛之间的漏电流情况，以此来判断瓷片的绝缘性能是否达标，这种测试方法操作复杂，产品100%批量检测耗时长，一般对于带图形的覆铜陶瓷基板进行检测，而不会对原材料、中间环节、烧结后的陶瓷基板进行检测，工序制程中造成的隐裂难以被发现，从而造成后道工...
【技术保护点】
1.一种陶瓷基板内部微缺陷的自动化批量检测系统，其特征在于，包括放置架与检测箱，所述检测箱安装于放置架内，所述放置架包括安装 立柱、送料轨道、进料轨道、横梁、吸取头以及清理架，所述安装立柱至少阵列设置有四组，前后相邻两组所述安装立柱顶部之间设置有安装平台，所述送料轨道与进料轨道均固定安装于两组安装平台内侧，所述横梁设置于两组安装平台之间，且与两组安装平台相对垂直设置，所述横梁两端通过前后平移组件装于两组安装平台上，所述横梁内侧沿设置方向设置有水平调节组件，所述吸取头安装于垂直调节组件，所述垂直调节组件水平活动安装于水平调节组件上，所述吸取头安装于垂直调节组件下方，所述...
【技术特征摘要】
1.一种陶瓷基板内部微缺陷的自动化批量检测系统，其特征在于，包括放置架与检测箱，所述检测箱安装于放置架内，所述放置架包括安装 立柱、送料轨道、进料轨道、横梁、吸取头以及清理架，所述安装立柱至少阵列设置有四组，前后相邻两组所述安装立柱顶部之间设置有安装平台，所述送料轨道与进料轨道均固定安装于两组安装平台内侧，所述横梁设置于两组安装平台之间，且与两组安装平台相对垂直设置，所述横梁两端通过前后平移组件装于两组安装平台上，所述横梁内侧沿设置方向设置有水平调节组件，所述吸取头安装于垂直调节组件，所述垂直调节组件水平活动安装于水平调节组件上，所述吸取头安装于垂直调节组件下方，所述清理架上下活动安装于横梁底部，所述检测箱一侧侧壁、顶盖与检测箱本体相对滑动设置，所述检测箱底部阵列设置有若干检测底座，所述检测箱顶盖内侧于检测底座正上方活动设置有检测顶座，所述检测底座与检测顶座上均设置有柔性导电材料，柔性导电材料边缘进行绝缘处理，所述检测底座与检测顶座之间的柔性导电材料夹设有陶瓷基板，所述检测箱另一侧侧壁上开设有注入口，所述检测底座与检测顶座通过通电导线连接plc端。
2.根据权利要求1所述的一种陶瓷基板内部微缺陷的自动化批量检测系统，其特征在于：所述前后平移组件包括第一电机、第一螺杆与导轨，所述第一螺杆与导轨分别平行设置于横梁两端的安装平台上，所述横梁两端底部固定安装有两组滑块，其中一组所述滑块内部通过螺纹与第一螺杆传动连接，另一组所述滑块滑动设置于导轨上，所述第一电机的输出端与第一螺杆一端通过联轴器传动连接。
3.根据权利要求1所述的一种陶瓷基板内部微缺陷的自动化批量检测系统，其特征在于：所述水平调节组件包括第二电机与第二螺杆，所述第二螺杆两端转动安装于横梁内侧，所述第二电机的输出端与第二螺杆一端通过传动带与传动轮驱动连接，所述第二螺杆上传动设置有滑块，所述垂直调节组件安装于第二螺杆的滑块上。
4.根据权利要求3所述的一种陶瓷基板内部微缺陷的自动化批量检测系统，其特征在于：所述垂直调节组件包括滑台气缸与连接座，所述滑台气缸的固定端与第二螺杆的滑块固定连接，所述连接座固定安装于滑台气缸的活动端下方，所述吸取头至少设置有四组，且分别阵列安装于连接座下方，所述吸取头连通有微型负压泵，所述微型负压泵安装于横梁顶部。
5.根据权利要求1所述的一种陶瓷基板内部微缺陷的自动化批量...
【专利技术属性】
技术研发人员：王闯，赵志强，江玉鑫，周慧，张伟，
申请(专利权)人：江苏瀚思瑞半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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