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本发明公开了一种陶瓷基板内部微缺陷的自动化批量检测系统及其方法，包括放置架与检测箱，检测箱安装于放置架内，放置架包括安装立柱、送料轨道、进料轨道、横梁、吸取头以及清理架，检测箱一侧侧壁、顶盖与检测箱本体相对滑动设置，检测箱底部阵列设置有若干...
该专利属于江苏瀚思瑞半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏瀚思瑞半导体科技有限公司授权不得商用。

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