一种具有光束质量因子增强下波导层的氮化镓半导体激光器制造技术

本发明专利技术涉及一种具有光束质量因子增强下波导层的氮化镓半导体激光器。该半导体激光器，包括由下至上依次相连的衬底、下包覆层、下波导层，有源层、上波导层、上包覆层，所述下波导层为光束质量因子增强下波导层；该半导体激光器，通过调控下波导层的形变势分布和极化光学声子能量分布，以形成光束质量因子增强下波导层，从而抑制端面附近的电流注入和出射端面的发热，抑制杂散光和泄漏光，提升远场FFP图像质量、限制因子和光束质量因子，而光束质量因子的改善，可以提高激光器的光束聚焦能力，使得光束更加集中和稳定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体光电器件，具体涉及一种具有光束质量因子增强下波导层的氮化镓半导体激光器。

技术介绍

1、激光器广泛应用于激光显示、激光电视、激光投影仪、通讯、医疗、武器、制导、测距、光谱分析、切割、精密焊接、高密度光存储等领域，激光器的种类很多，分类方式也多样，主要有固体、气体、液体、半导体和染料等类型激光器；与其他类型激光器相比，全固态半导体激光器具有体积小、效率高、重量轻、稳定性好、寿命长、结构简单紧凑、小型化等优点，激光器与氮化物半导体发光二极管存在较大的区别，1)激光是由载流子发生受激辐射产生，光谱半高宽较小，亮度很高，单颗激光器输出功率可在w级，而氮化物半导体发光二极管则是自发辐射，单颗发光二极管的输出功率在mw级；2)激光器的使用电流密度达ka/cm2，比氮化物发光二极管高2个数量级以上，从而引起更强的电子泄漏、更严重的俄歇复合、极化效应更强、电子空穴不匹配更严重，导致更严重的效率衰减droop效应；3)发光二极管自发跃迁辐射，无外界作用，从高能级跃迁到低能级的非相干光，而激光器为受激跃迁辐射，感应光子能量应等于电子跃迁的能级之差，产生光子本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有光束质量因子增强下波导层的氮化镓半导体激光器，包括由下至上依次相连的衬底、下包覆层、下波导层，有源层、上波导层、上包覆层，其特征在于，所述下波导层为光束质量因子增强下波导层。

2.根据权利要求1所述的一种具有光束质量因子增强下波导层的氮化镓半导体激光器，其特征在于：所述光束质量因子增强下波导层为InGaN、GaN、InN、AlInGaN的任意一种或任意组合，所述光束质量因子增强下波导层的形变势分布和极化光学声子能量分布具有弧形分布。

3.根据权利要求2所述的一种具有光束质量因子增强下波导层的氮化镓半导体激光器，其特征在于：所述光束质量因子增强下波导层的...

【技术特征摘要】

1.一种具有光束质量因子增强下波导层的氮化镓半导体激光器，包括由下至上依次相连的衬底、下包覆层、下波导层，有源层、上波导层、上包覆层，其特征在于，所述下波导层为光束质量因子增强下波导层。

2.根据权利要求1所述的一种具有光束质量因子增强下波导层的氮化镓半导体激光器，其特征在于：所述光束质量因子增强下波导层为ingan、gan、inn、alingan的任意一种或任意组合，所述光束质量因子增强下波导层的形变势分布和极化光学声子能量分布具有弧形分布。

3.根据权利要求2所述的一种具有光束质量因子增强下波导层的氮化镓半导体激光器，其特征在于：所述光束质量因子增强下波导层的形变势分布具有函数y＝ax曲线分布，其中，a＞1；

4.根据权利要求3所述的一种具有光束质量因子增强下波导层的氮化镓半导体激光器，其特征在于：所述光束质量因子增强下波导层的峰值电子漂移速率分布具有弧形分布。

5.根据权利要求4所述的一种具有光束质量因子增强下波导层的氮化镓半导体激光器，其特征在于：所述光束质量因子增强下波导层的峰值电子漂移速率分布具有函数y＝x-c第三象限曲线分布，其中，c＞1，且为奇数。

6.根据权利要求5所述的一种具有光束质量因子增强下波导层的氮化镓半导体激光器，其特征在于：所述光束质量因子增强下波导层的辐射复合系数分布具有弧形分布。

7.根据权利要求6所述的一种具有光束质量因子增强下波导层的氮化镓半导体激光器，其特征在于：所述光束质量因子增强下波导层的辐射复合系数分布具有函数y＝sinx/x2第三象...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑锦坚，李水清，邓和清，寻飞林，蓝家彬，李晓琴，陈婉君，
申请(专利权)人：安徽格恩半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：