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结合有光学腔以用于改善电子显微镜成像中的相位对比度的极靴制造技术

技术编号:41810059 阅读:20 留言:0更新日期:2024-06-24 20:29
结合有光学腔以用于改善电子显微镜成像中的相位对比度的极靴。本发明专利技术描述了在剂量敏感样品中提供改善的对比度的带电粒子显微镜的系统、方法和部件。一种用于电子显微镜的极靴可包括主体,该主体与中心轴线基本上同心。该主体可限定:上表面,该上表面基本上垂直于该中心轴线;下表面,该下表面基本上垂直于该中心轴线;中央光圈,该中央光圈从该上表面到该下表面形成在该主体中。该中央光圈可关于该中心轴线基本上旋转对称。该主体可限定:侧向表面,该侧向表面相对于该中心轴线倾斜并且朝向该上表面渐缩;和多个侧向光圈,该多个侧向光圈从该侧向表面到该中央光圈形成在该主体中。该多个侧向光圈可关于该中心轴线基本上对称地排列。

【技术实现步骤摘要】

本公开的实施方案涉及电子显微镜部件、系统和方法。具体地,一些实施方案涉及被配置用于改善电子显微镜图像中的对比度的部件。


技术介绍

1、生物样品的电子显微术涉及将有机材料暴露于电子束。电子与样品之间的相互作用生成不同类型的可检测信号,这些可检测信号可用于成像和分析。在透射电子显微术(tem)中,可在原子尺度上形成详细信息,包括生物材料的内部结构的图像、构象信息和微生物过程的原位观察。

2、在逐渐缩小的长度尺度(例如,数埃到数十埃的量级)上对生物材料进行tem分析,给区分感兴趣的结构与背景信号或成像伪影带来了挑战。因此,需要开发用于在例如生物材料的低温tem分析领域改善电子显微镜图像中的对比度的部件、系统和方法。


技术实现思路

【技术保护点】

1.一种用于电子显微镜的极靴,所述极靴包括:

2.根据权利要求1所述的极靴,其中所述多个侧向光圈分别相对于所述上表面以约5mm至约20mm的竖直距离与所述中央光圈相交。

3.根据权利要求1所述的极靴,其中所述多个侧向光圈中的侧向光圈的特征在于约5mm至约15mm的与所述中心轴线对准的竖直维度。

4.根据权利要求1所述的极靴,其中所述多个侧向光圈中的侧向光圈相对于垂直于所述中心轴线的侧向参考平面以约10度至约45度的角度朝向所述中央光圈渐缩。

5.根据权利要求1所述的极靴,其中:

6.根据权利要求5所述的极靴,其中所述第一曲率半径...

【技术特征摘要】

1.一种用于电子显微镜的极靴,所述极靴包括:

2.根据权利要求1所述的极靴,其中所述多个侧向光圈分别相对于所述上表面以约5mm至约20mm的竖直距离与所述中央光圈相交。

3.根据权利要求1所述的极靴,其中所述多个侧向光圈中的侧向光圈的特征在于约5mm至约15mm的与所述中心轴线对准的竖直维度。

4.根据权利要求1所述的极靴,其中所述多个侧向光圈中的侧向光圈相对于垂直于所述中心轴线的侧向参考平面以约10度至约45度的角度朝向所述中央光圈渐缩。

5.根据权利要求1所述的极靴,其中:

6.根据权利要求5所述的极靴,其中所述第一曲率半径为约1mm至约3mm并且其中所述第二曲率半径为约1mm至约5mm。

7.根据权利要求1所述的极靴,其中所述中央光圈包括多个区段,其中所述多个区段中的第一区段的特征在于约1mm至约10mm的直径,其中所述多个区段中的第二区段的特征在于约5mm至约50mm的直径,并且其中所述第二区段比所述第一区段宽。

8.根据权利要求7所述的极靴,其中所述多个区段中的第三区段的特征在于约10mm至约30mm的直径,其中所述第三区段比所述第二区段宽,并且其中所述第二区段在所述第一区段与所述第三区段之间。

9.一种显微镜系统,所述显微镜系统包括:

10.根据权利要求9所述的显微镜系统,其中所述多个侧向光圈分别相对于所述上表面以约5mm至约20mm的竖直距离与所述中央光圈...

【专利技术属性】
技术研发人员:B·布伊泽P·多纳
申请(专利权)人:FEI公司
类型:发明
国别省市:

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