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结合有光学腔以用于改善电子显微镜成像中的相位对比度的极靴。本发明描述了在剂量敏感样品中提供改善的对比度的带电粒子显微镜的系统、方法和部件。一种用于电子显微镜的极靴可包括主体，该主体与中心轴线基本上同心。该主体可限定：上表面，该上表面基本上垂...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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