一种生产光伏电池的设备制造技术

本发明专利技术公开了一种生产光伏电池的设备，包括：上料机，所述上料机连接进片室，所述进片室连接加热室，所述加热室连接工艺I室，所述工艺I室连接工艺IB室，所述工艺IB室连接第一缓冲腔，所述第一缓冲腔连接工艺N室，所述工艺N室连接第二缓冲腔，所述第二缓冲腔连接工艺P室，所述工艺P室连接冷却室，所述冷却室连接出片室，所述出片室连接下料机。本发明专利技术的优点是：对电池片I层、N层、IB层和P层双面镀膜，通过直通式在线连续PECVD镀膜方式，只需要一次大气‑真空‑大气的过程，不需要翻面就可以完成在线双面镀膜，完成整个PECVD镀膜INP膜层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光伏，具体涉及一种生产光伏电池的设备。

技术介绍

1、生产hjt太阳能电池工艺流程中，pecvd设备是关键核心设备。在一定真空及温度条件下，为满足pecvd工艺镀膜条件，pecvd设备需要不同功能的真空室，包括大气-真空交换的进片室/出片室，给载板/硅片加热和冷却的加热室/冷却室，和做工艺镀膜的工艺室。

2、目前国内外已有的生产异质结（hjt）电池的pecvd设备主要是分段式的结构，第一段镀膜电池片ib层，1）工艺流程为上料机摆片制绒硅片到载板上；2）载板传入进片室进入真空部分；3）加热室加热载板硅片；4）工艺ib室工艺镀膜电池片ib层（根据工艺条件，若干个工艺ib室）；5）冷却室冷却载板和电池片；6）出片室传出真空部分到翻面机构，每片电池片在大气状态下进行翻面。第二段镀膜电池片i层和n层，1）工艺流程为翻面机构完成翻面的电池片摆片在载板上；2）载板传入进片室进入真空部分；3）加热室加热载板电池片；4）工艺i室工艺镀膜电池片i层（根据工艺条件，若干个工艺i室）；5）缓冲室隔离电池片i层和n层镀膜；6）工艺n室镀膜电池片n层（根据工本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种生产光伏电池的设备，其特征在于，对电池片I层、N层、IB层和P层双面镀膜，包括：上料机，所述上料机连接进片室，所述进片室连接加热室，所述加热室连接工艺I室，所述工艺I室连接工艺IB室，所述工艺IB室连接第一缓冲腔，所述第一缓冲腔连接工艺N室，所述工艺N室连接第二缓冲腔，所述第二缓冲腔连接工艺P室，所述工艺P室连接冷却室，所述冷却室连接出片室，所述出片室连接下料机，其中，I层正面，IB层反面，N层正面，P层反面。

2.一种生产光伏电池的设备，其特征在于，对电池片I层、N层、IB层和P层双面镀膜，包括：上料机，所述上料机连接进片室，所述进片室连接加热室，所述加热室连接工艺...

【技术特征摘要】

1.一种生产光伏电池的设备，其特征在于，对电池片i层、n层、ib层和p层双面镀膜，包括：上料机，所述上料机连接进片室，所述进片室连接加热室，所述加热室连接工艺i室，所述工艺i室连接工艺ib室，所述工艺ib室连接第一缓冲腔，所述第一缓冲腔连接工艺n室，所述工艺n室连接第二缓冲腔，所述第二缓冲腔连接工艺p室，所述工艺p室连接冷却室，所述冷却室连接出片室，所述出片室连接下料机，其中，i层正面，ib层反面，n层正面，p层反面。

2.一种生产光伏电池的设备，其特征在于，对电池片i层、n层、ib层和p层双面镀膜，包括：上料机，所述上料机连接进片室，所述进片室连接加热室，所述加热室连接工艺i室，所述工艺i室连接工艺ib室，所述工艺ib室连接第一缓冲腔，所述第一缓冲腔连接工艺p室，所述工艺p室连接第二缓冲腔，所述第二缓冲腔连接工艺n室，所述工艺n室连接冷却室，所述冷却室连接出片室，所述出片室连接下料机，其中，i层正面，ib层反面，p层反面，n层正面。

3.一种生产光伏电池的设备，其特征在于，对电池片i层、n层、ib层和p层双面镀膜，包括：上料机，所述上料机连接进片室，所述进片室连接加热室，所述加热室连接工艺ib室，所述工艺ib室连接工艺i室，所述工艺i室连接第一缓冲腔，所述第一缓冲腔连接工艺n室，所述工艺n室连接第二缓冲腔，所述第二缓冲腔连接工艺p室，所述工艺p室连接冷却室，所述冷却室连接出片室，所述出片室连接下料机，其中，ib层反面，i层正面，n层正面，p层反面。

4.一种生产光伏电池的设...

【专利技术属性】
技术研发人员：张迎春，赵永飞，见东伟，
申请(专利权)人：捷造科技宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：