【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及雾化，尤其涉及一种雾化芯的制造方法及雾化芯和电子雾化装置。
技术介绍
1、目前电加热式雾化技术是雾化领域中的主流雾化技术，其采用电阻丝/金属膜加热产生高温，使棉芯或多孔陶瓷片等多孔介质中的雾化液受热雾化形成气溶胶供用户抽吸。陶瓷发热体热传导效率高，加热速度快而被广泛应用，其制造方法是陶瓷烧结成型，然后利用印刷工艺形成发热体。电加热式雾化技术雾化液在高温作用下一方面容易产生甲醛、一氧化碳等有害物质，存在健康安全隐患；另一方面会破坏不同雾化液所特有的香精香料体系甚至产生焦味，从而影响口感使得抽吸口感大打折扣。电加热式雾化技术广泛应用的陶瓷发热体制造中陶瓷的烧结成型和印刷厚膜发热线路的工艺加工工序复杂、工艺条件限制多、能耗大，加工成本高、生产效率低，并且发热体精度不高。
2、另外一种声表面波电子雾化装置，其利用声表面波衍射能量实现雾化液雾化。制作方法是在压电基片材料上通过微纳加工方法形成金属薄膜或者具有能量转换功能的交叉指形金属电极。但相关技术的声表面波雾化芯片的制作需要微纳加工，包含薄膜沉积、紫外光刻、薄膜刻蚀等工...
【技术保护点】
1.一种雾化芯的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的雾化芯的制造方法，其特征在于，所述金属薄膜的厚度与所述金属薄膜的导电性成反比。
3.根据权利要求2所述的雾化芯的制造方法，其特征在于，所述金属薄膜的材料包括金，所述金属薄膜的厚度为10nm至500nm。
4.根据权利要求2所述的雾化芯的制造方法，其特征在于，所述金属薄膜的材料包括铝，所述金属薄膜的厚度为200nm至5μm。
5.根据权利要求1所述的雾化芯的制造方法，其特征在于，在所述基底上沉积金属薄膜之前，还包括对所述基底进行光刻处理；对所述基...
【技术特征摘要】
1.一种雾化芯的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的雾化芯的制造方法，其特征在于，所述金属薄膜的厚度与所述金属薄膜的导电性成反比。
3.根据权利要求2所述的雾化芯的制造方法，其特征在于，所述金属薄膜的材料包括金，所述金属薄膜的厚度为10nm至500nm。
4.根据权利要求2所述的雾化芯的制造方法，其特征在于，所述金属薄膜的材料包括铝，所述金属薄膜的厚度为200nm至5μm。
5.根据权利要求1所述的雾化芯的制造方法，其特征在于，在所述基底上沉积金属薄膜之前，还包括对所述基底进行光刻处理；对所述基底进行光刻处理具体包括以下步骤：
6.根据权利要求5所述的雾化芯的制造方法，其特征在于，在所述基底上沉积金属薄膜之后，还包括将沉积好所述金属薄膜的所述基底浸泡于去胶液中，去除已曝光的光刻胶，并对所述基底进行清洗和干燥，得到所述叉指电极。
7.根据权利要求6所述的雾化芯的制造方法，其特征在于，所述将沉积好所述金属薄膜的所述基底浸泡于去胶液中，去除已曝光的光刻胶具体包括：
8.根据权利要求7所述的雾化芯的制...
【专利技术属性】
技术研发人员：许朝萍，杨豪，余攀，饶志强，孙洪涛，徐志锋，雷桂林，
申请(专利权)人：深圳麦克韦尔科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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