固态前驱体供应腔室制造技术

本申请实施例涉及一种固态前驱体供应腔室。属于前驱体供应腔室技术领域。固态前驱体供应腔室包括瓶体、出料管道和多个托盘。其中，瓶体包括瓶底、瓶壁和瓶盖，瓶底、瓶壁和瓶盖形成密封腔室，瓶盖上具有载气入口与蒸汽出口；出料管道的一端连通蒸汽出口；多个托盘套装于出料管道上，多个托盘堆叠设置，托盘包括多个空心管，空心管的两端均连通密封腔室，空心管的至少一端凸出于托盘表面，载气从载气入口进入流经空心管，以将蒸汽携带至出料管道的另一端处。本申请实施例提供的固态前驱体供应腔室利用空心管进行引流以实现载气与蒸汽混合物多次折流，进而大大提高载气与蒸汽的混合效果，进一步保证前驱体蒸汽的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及前驱体供应腔室，特别是涉及一种固态前驱体供应腔室。

技术介绍

1、在以固态前驱体作为沉积工艺中，在前驱体供应腔室中放入固态前驱体，通过对固态前驱体进行加热使其升华转变为蒸汽，然后前驱体气体即蒸汽从前驱体供应腔室被供应到沉积设备的反应器中。具有低蒸气压的固态前驱体需要使用载气将升华的前驱体从前驱体供应腔室输送至反应器中。

2、由于固态前驱体的蒸气压较低，一般通过调整载气参数来实现较为稳定的前驱体蒸汽。然而，通过上述调整方式前驱体蒸汽浓度仍然伴随着较大的波动性，混合均匀性较差影响前驱体蒸汽在反应器中的沉积。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请实施例为解决
技术介绍
中存在的至少一个问题而提供一种固态前驱体供应腔室。

2、第一方面，本申请实施例提供了一种固态前驱体供应腔室，所述固态前驱体供应腔室中的固态前驱体在加热后升华转变为蒸汽，所述固态前驱体供应腔室包括：

3、瓶体，所述瓶体包括瓶底、瓶壁和瓶盖，所述瓶底、瓶壁和瓶盖形成密封腔室，所述瓶盖可拆卸盖装于所述瓶壁上，所述瓶盖本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种固态前驱体供应腔室，所述固态前驱体供应腔室中的固态前驱体在加热后升华转变为蒸汽，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的固态前驱体供应腔室，其特征在于，所述空心管的两端均凸出于所述托盘表面。

3.根据权利要求1或2所述的固态前驱体供应腔室，其特征在于，所述托盘包括第一托盘与第二托盘，所述第一托盘与所述第二托盘相邻堆叠，所述第一托盘接近所述载气入口，所述第二托盘远离所述载气入口，连接于所述第二托盘上的所述空心管接近所述载气入口的一端接近所述第一托盘的底端。

4.根据权利要求3所述的固态前驱体供应腔室，其特征在于，连接于所述第一托盘上的所述空心...

【技术特征摘要】

1.一种固态前驱体供应腔室，所述固态前驱体供应腔室中的固态前驱体在加热后升华转变为蒸汽，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的固态前驱体供应腔室，其特征在于，所述空心管的两端均凸出于所述托盘表面。

3.根据权利要求1或2所述的固态前驱体供应腔室，其特征在于，所述托盘包括第一托盘与第二托盘，所述第一托盘与所述第二托盘相邻堆叠，所述第一托盘接近所述载气入口，所述第二托盘远离所述载气入口，连接于所述第二托盘上的所述空心管接近所述载气入口的一端接近所述第一托盘的底端。

4.根据权利要求3所述的固态前驱体供应腔室，其特征在于，连接于所述第一托盘上的所述空心管远离所述载气入口的一端接近所述第一托盘的底端。

5.根据权利要求1所述的固态前驱体供应腔室，其特征在于，所述空心管的轴线垂直于所述托盘表面所在的平面。

6.根据权利要求1所述的固态前驱体供应腔室，其特征在于，所述托盘包括第三托盘与第四托盘，所述第三托盘与所述第四托盘相邻堆叠，

7.根据权利要求6所述的固态前驱体供...

【专利技术属性】
技术研发人员：董兴玉，张文静，程林轩，程秀萍，谢辰辰，
申请(专利权)人：江苏容导半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：