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本申请实施例涉及一种固态前驱体供应腔室。属于前驱体供应腔室技术领域。固态前驱体供应腔室包括瓶体、出料管道和多个托盘。其中，瓶体包括瓶底、瓶壁和瓶盖，瓶底、瓶壁和瓶盖形成密封腔室，瓶盖上具有载气入口与蒸汽出口；出料管道的一端连通蒸汽出口；多个...
该专利属于江苏容导半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏容导半导体科技有限公司授权不得商用。

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