主动隔振平台制造技术

一种主动隔振平台，包括平台、传感器、控制器和电机作动器。其工作原理是传感器测量地基振动与平台振动，控制器根据传感器的测量信号和一定的控制算法控制电机作动器的输出，电机动子或转子通过驱动弹簧与平台连接，电机动子或转子根据控制器的控制命令输出位移或者角位移，通过驱动弹簧把位移输出转化为力输出，或者把角位移输出转化为力矩输出，减小平台振动；同时高频噪声不会通过本发明专利技术电机作动器传递，并且本发明专利技术电机作动器有较大的输出行程和输出力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及振动控制，特别是一种主动隔振平台。
技术介绍
通常振动控制的方法有三种减弱振源强度、隔振和吸振。隔振就是在振源与 减振体之间增加衰减振动的元器件， 一般情况下，采用由弹簧和阻尼器构成的被动隔振器 (PVI-Passive Vibration Isolation)，例如空气弹簧隔振器，它因结构简单性能可靠而得 到了广泛应用。但被动隔振有它固有的缺点首先是共振放大和高频衰减对阻尼比的要求 是相互矛盾的，设计时阻尼比必须综合考虑，折衷选择；其次为了增加隔振器的有效带宽需 要降低隔振器的固有频率，但考虑到结构实现与设备安装精度，隔振器的支撑刚度不能太 低，再次是被动隔振器不能衰减低频振动。 解决上述问题的一个方法是在PVI中增加传感器、控制器和作动器，构成主动隔 振器(AVI-Active Vibration Isolation)，获得更好的静态稳定性和动态性能。作动器一 般和PVI并联或者串联使用，在并联时系统的高频隔振性能由于作动器输出带宽的限制而 恶化，在串联时作动器需要承担巨大的静态负载，这对作动器提出了苛刻的要求，同时造成 系统成本急剧上升。作动器刚度与负载刚度匹配本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种主动隔振平台，特征是其结构包括多个空气弹簧（２）支撑的平台（１）和多个单自由度隔振模块，所述的单自由度隔振模块由电机作动器（３）、第一传感器（６）、控制器（７）、第二传感器（８）构成，所述的电机作动器（３）由具有动子或转子（１３）和定子（１２）的电机和驱动弹簧（１４）构成，所述的空气弹簧（２）连接在地基（９）和所述的平台（１）之间，所述电机的定子（１２）与所述的地基（９）固定连接，所述电机的动子或转子（１３）通过所述的驱动弹簧（１４）与所述的平台（１）相连接，所述的第一传感器（６）测量所述的平台（１）的振动信息，所述的第二传感器（８）测量所述的地基（９）的振动信息，所述的第一传感器（６）的...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张涛，刘芳，徐嘉，黄宏彪，赵芳芳，孙平平，朱健强，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]