【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于复合衬底领域，特别涉及一种复合衬底的电声换能结构及其制备方法和应用。
技术介绍
1、通过测量物体中的弹性波，不仅可以得知物体的振动方式，而且可以通过弹性波场来进一步分析物体的形貌。现有弹性波探测技术主要是基于非插入式，在宏观尺度上进行探测，通过声波在不同介质中的传播速度不同，反映出结构的大致形貌。但是受制于精度和加工尺度的影响，非插入式探测技术无法在微观尺度上对弹性波进行测量。
2、目前的技术主要有以下的缺点：
3、①只能测量表面形貌：微观下的原子力显微镜(afm)，通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。将一对微弱力极端敏感的微悬臂一端固定，另一端的微小针尖接近样品，这时它将与其相互作用，作用力将使得微悬臂发生形变或运动状态发生变化。扫描样品时，利用传感器检测这些变化，就可获得作用力分布信息，从而以纳米级分辨率获得表面形貌结构信息及表面粗糙度信息。afm基于非接触式测量，只能做到对物体表面形貌的测试。
4、②非接触式测量：最典型...
【技术保护点】
1.一种复合衬底的电声换能结构，其特征在于：所述结构包括：
2.根据权利要求1所述的电声换能结构，其特征在于：在平面方向，第一汇流条(3)为圆形或者椭圆形结构，第二汇流条(4)为圆环或者椭圆环结构。
3.根据权利要求1所述的电声换能结构，其特征在于：所述第一汇流条(3)和第二汇流条(4)的厚度范围为20～200nm，材料包括铝、铜、金、钛、镍、钼、铂中的一种或几种。
4.根据权利要求1所述的电声换能结构，其特征在于：所述支撑衬底(1)为圆锥或圆台结构，其与压电薄膜(2)相接的一面的面积大于底部平面的面积。
5.根据权利要...
【技术特征摘要】
1.一种复合衬底的电声换能结构，其特征在于：所述结构包括：
2.根据权利要求1所述的电声换能结构，其特征在于：在平面方向，第一汇流条(3)为圆形或者椭圆形结构，第二汇流条(4)为圆环或者椭圆环结构。
3.根据权利要求1所述的电声换能结构，其特征在于：所述第一汇流条(3)和第二汇流条(4)的厚度范围为20～200nm，材料包括铝、铜、金、钛、镍、钼、铂中的一种或几种。
4.根据权利要求1所述的电声换能结构，其特征在于：所述支撑衬底(1)为圆锥或圆台结构，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：欧欣，隋东辰，张师斌，郑鹏程，孙米静，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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