【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制备，特别涉及一种用于晶圆中心定位的机械手装置。
技术介绍
1、目前，针对晶圆进行中心定位操作中，应用较多的是独立机械或光学定位装置，通过机械手臂将晶圆传送至中心定位装置，中心定位装置对晶圆完成中心定位校准后，再由机械手臂真空吸附将晶圆传送至工艺制作单元。
2、在上述过程中，需要设置独立的机械或光学定位装置，增加制造成本；机械手臂都需要配置真空吸附装置用于固定晶圆在传输过程中的稳定性；在输送过程中，真空吸附不稳定的话会出现晶圆位置偏移甚至掉落的情况。
技术实现思路
1、基于此，本技术的目的是提供一种用于晶圆中心定位的机械手装置，以解决现有技术中的不足。
2、为实现上述目的，本技术提供了一种用于晶圆中心定位的机械手装置，包括相连接的机械手臂和对位组件；
3、所述机械手臂包括相连接的叉指和支撑臂，所述支撑臂通过驱动组件进行控制；
4、所述对位组件包括设于所述叉指上的台阶结构，所述台阶结构位于所述叉指的下方，所述台阶结构围合形成一半...
【技术保护点】
1.一种用于晶圆中心定位的机械手装置，其特征在于，包括相连接的机械手臂和对位组件；
2.根据权利要求1所述的用于晶圆中心定位的机械手装置，其特征在于，所述台阶结构的底部开设有嵌入槽，所述嵌入槽与所述倒圆台状空间连通，所述嵌入槽的中心轴与所述倒圆台状空间的中心轴处于同一直线上。
3.根据权利要求2所述的用于晶圆中心定位的机械手装置，其特征在于，所述嵌入槽的开口宽度大于所述真空柱的端面直径。
4.根据权利要求1所述的用于晶圆中心定位的机械手装置，其特征在于，所述叉指为U形结构。
5.根据权利要求1所述的用于晶圆中心定位的机械...
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆中心定位的机械手装置，其特征在于，包括相连接的机械手臂和对位组件；
2.根据权利要求1所述的用于晶圆中心定位的机械手装置，其特征在于，所述台阶结构的底部开设有嵌入槽，所述嵌入槽与所述倒圆台状空间连通，所述嵌入槽的中心轴与所述倒圆台状空间的中心轴处于同一直线上。
3.根据权利要求2所述的用于晶圆中心定位的机械手装置，其特征在于，所述嵌入槽的开口宽度大于所述真空柱的端面直径。
4.根据权利要求1所述的用于晶圆中心定位的机械手装置，其特征在于，所述叉指为u形结构。
5.根据权利要求1所述的用于晶圆中心定位的机械手装置，其特征在于，所述台阶结构包括自上往下设置的连接部、倾斜部和承托部，所述倾斜部的一端与所述连接部连接，其另一端与所述承托部连接，所述连接部与所述叉指的内侧壁连接。
6.根据权利要求5所述的用于晶圆中心定位的机械手装置，其特征在于，所述连...
【专利技术属性】
技术研发人员：涂亮亮，丁建峰，王祥，牛琳，
申请(专利权)人：南昌三盛半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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