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本技术提供了一种用于晶圆中心定位的机械手装置，包括相连接的机械手臂和对位组件；机械手臂包括相连接的叉指和支撑臂，支撑臂通过驱动组件进行控制；对位组件包括设于叉指上的台阶结构，台阶结构位于叉指的下方，台阶结构围合形成一半封闭式的倒圆台状空间，...
该专利属于南昌三盛半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南昌三盛半导体有限公司授权不得商用。

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