The invention discloses a method for manufacturing a light emitting diode with vertical structure, comprising the steps of a production, a LED chip, the manufacturing method of LED chip, including the production of epitaxial layer on sapphire substrate with light reflecting layer, which is characterized in that the method further comprises: step two, providing a substrate, and reflective contact layer of the LED chip and the substrate bonding; step three, remove the sapphire substrate and the LED chip; step four, N electrode is formed in the epitaxial layer. The invention proposes a method for removing sapphire substrate by mechanical grinding to produce a vertical structure LED chip.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种垂直结构的发光二极管芯片(LED)制作方法,尤其涉及一种衬 底置换的芯片制作方法。
技术介绍
垂直结构的发光二极管制作方法通常有两种方法一如图l所示,是在背金层 34上的碳化硅(SiC)衬底33上生长氮化镓外延层32,并在氮化镓外延层32上制作 金属电极31,利用碳化硅良好的导电、导热性能,可以直接制作垂直结构的LED;方 法二如图2所示,是在蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层26,然后在氮化镓外延层26 上制作接触、反光层27,然后用电镀或者基板键合(Wafer bonding)的方式制作热 沉基板,同时也作为外延层新的衬底,再通过激光剥离的方法使蓝宝石衬底和氮化镓 外延层分离,外延层转移到新的导热衬底29上,这样LED芯片的散热性能会更好。 目前,在蓝宝石衬底上生长外延层后制作垂直结构LED通常采用激光剥离技术使外延 层和蓝宝石衬底分离。上述采用激光剥离技术分离蓝宝石和外延层的方法主要存在两个问题 一是设 备成本、运营费用较高,导致LED芯片加工成本增加;二是激光剥离技术分离蓝宝石 和外延层釆用逐点扫描的方式,激光的能量在蓝宝石与外延层界面处吸收,在激光束 斑大小区域瞬间产生高温,使界面处氮化镓迅速汽化,产生的反冲,使蓝宝石和外延 层分离。由于局部高温和反冲,有时会导致有些LED芯片性能劣化,应力容易导致外 延层破裂,从而影响激光剥离后的成品率。
技术实现思路
为了克服激光剥离技术制作垂直结构LED芯片存在的问题,本专利技术提出一种实现 衬底转移的方法制作垂直结构LED芯片。本专利技术的目的是提出一种垂直结构LED制造方法,降低蓝宝石和外延层 ...
【技术保护点】
一种垂直结构发光二极管的制作方法,包括步骤一,制作一LED芯片,所述LED芯片的制作方法包括在蓝宝石衬底上制作外延层、接触反光层,其特征在于,所述方法进一步包括: 步骤二,提供一基板,并将所述LED芯片的接触反光层与所述基板键合; 步骤三,去掉所述LED芯片的蓝宝石衬底; 步骤四,在所述外延层上形成N电极。
【技术特征摘要】
1、一种垂直结构发光二极管的制作方法,包括步骤一,制作一LED芯片,所述LED芯片的制作方法包括在蓝宝石衬底上制作外延层、接触反光层,其特征在于,所述方法进一步包括步骤二,提供一基板,并将所述LED芯片的接触反光层与所述基板键合;步骤三,去掉所述LED芯片的蓝宝石衬底;步骤四,在所述外延层上形成N电极。2、 根据权利要求l所述的垂直结构发光二极管的方法,其特征在于, 所述步骤三包括机械研磨方法。3、 根据权利要求l所述的垂直结构发光二极管的方法,其特征在于,所述步骤 一之后进一步包括步骤五,在所述接触反光层与所述基板上各形成一金属焊料...
【专利技术属性】
技术研发人员:田洪涛,江忠永,
申请(专利权)人:杭州士兰明芯科技有限公司,
类型:发明
国别省市:86[中国|杭州]
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