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对生物样本进行显微机械加工以产生用于在低温带电粒子显微镜中进行分析的片层的方法技术

技术编号:41537029 阅读:26 留言:0更新日期:2024-06-03 23:15
本公开涉及一种对生物样本进行显微机械加工以产生用于在低温带电粒子显微镜中进行分析的片层的方法。该方法包括以下步骤:在样本载体上提供生物样本;在该样本载体上定位样本区域,该样本区域包括感兴趣区,该感兴趣区具有可以从其产生片层的生物材料;以及对该生物样本的至少一部分进行显微机械加工,以便移除该样本区域的一部分中包围该感兴趣区的材料,从而增加该感兴趣区中的该生物材料与该生物材料的周围环境之间的视觉对比。利用增加的视觉对比,可以识别潜在片层的位置。

【技术实现步骤摘要】


技术介绍


技术实现思路

【技术保护点】

1.一种用于对生物样本进行显微机械加工以产生用于在低温带电粒子显微镜(低温CPM)中进行分析的片层的方法,所述方法包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的方法,所述方法包括以下步骤:在所述显微机械加工步骤中的至少一个显微机械加工步骤中使用显微机械加工工具。

3.根据权利要求1或2所述的方法,所述方法包括以下步骤:在所执行的步骤中的至少一个或多个所执行的步骤期间使用带电粒子显微镜来对所述样本进行成像。

4.根据权利要求1-3所述的方法,所述方法包括以下步骤:通过处理单元识别所述感兴趣区与所述周围环境之间的分离边缘。

5.根据权利要求3和4所述...

【技术特征摘要】

1.一种用于对生物样本进行显微机械加工以产生用于在低温带电粒子显微镜(低温cpm)中进行分析的片层的方法,所述方法包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的方法,所述方法包括以下步骤:在所述显微机械加工步骤中的至少一个显微机械加工步骤中使用显微机械加工工具。

3.根据权利要求1或2所述的方法,所述方法包括以下步骤:在所执行的步骤中的至少一个或多个所执行的步骤期间使用带电粒子显微镜来对所述样本进行成像。

4.根据权利要求1-3所述的方法,所述方法包括以下步骤:通过处理单元识别所述感兴趣区与所述周围环境之间的分离边缘。

5.根据权利要求3和4所述的方法,其中所述识别步骤是对通过所述带电粒子显微镜获得的图像执行的。

6.根据权利要求1-5所述的方法,所述方法包括以下步骤:从一个显微机械加工步骤到下一个显微机械加工步骤改变所述样本载体的取向。

7.根据权利要求1-6所述的方法,所述方法包括以下步骤:为所述显微机械加工步骤中的至少一个显微机械加工步骤提供束,特别是聚焦离子束(fib)。

8.根据权利要求7所述的方法,所述方法包括以下步骤:在产生所述片层的所述步骤中,相对于由...

【专利技术属性】
技术研发人员:M·多尼克V·弗尔博夫斯卡R·克里兹J·库巴T·弗兰克
申请(专利权)人:FEI公司
类型:发明
国别省市:

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