硅单晶棒运输冷却车装置制造方法及图纸

技术编号:4153279 阅读:189 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及硅单晶棒运输冷却车装置,包括有箱体形式的硅单晶护套,硅单晶护套上连接有车架,车架顶端设有车扶手,硅单晶护套底部安装有车轮,硅单晶护套顶面开有开孔,硅单晶棒可沿着车架通过开孔放入硅单晶护套中,车架上设有导轨,还包括有固定套,固定套安装在所述车架的导轨上。本实用新型专利技术可以根据硅单晶棒的长度调节硅单晶棒固定套的高度;本实用新型专利技术在操作全过程避免了硅单晶棒与金属车直接接触,因此避免了由于局部冷速过快而导致位错增加以及硅单晶的隐裂的问题;同时本实用新型专利技术设计了平衡滑轮,因此可以实现直立横向运动。(*该技术在2019年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及特种运输装置领域,尤其是硅单晶棒运输冷却车装置,适用于取、运输、冷却刚从单晶炉中提出的硅单晶棒。
技术介绍
目前,直拉法制备出的硅单晶棒在取出后还需要经过适当的冷却,直接取出的硅 单晶棒温度约200 30(TC,如果直接操作,操作过程中容易对人体造成伤害,并且如果硅 单晶棒冷却的不均匀还会导致位错增加,甚至还可能由于热应力使得硅单晶棒出现隐裂的 状况。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种硅单晶体棒运输冷却车装置,便于获取、固定及运 输硅单晶棒,并且能够给硅单晶棒提供一个均匀的冷却环境,以解决直拉法制备出的硅单 晶棒直接操作容易伤害到操作人员,还可能导致硅单晶棒损坏的问题。为了达到上述目的,本技术所采用的技术方案为 硅单晶棒运输冷却车装置,包括有箱体形式的硅单晶护套,所述硅单晶护套上连 接有车架,车架顶端设有车扶手,硅单晶护套底部安装有车轮,其特征在于所述硅单晶护套顶面开有开孔,所述车架上设有朝向开孔的导轨,所述的导轨上安装有固定套,硅单晶棒 可沿着车架上导轨与固定套穿过开孔放入硅单晶护套中。所述的硅单晶棒运输冷却车装置,其特征在于所述固定套可为哈夫环形式,其中一个半环滑动安装在所述导轨上,另一个半环与安装在导轨的半环转动连接。 所述的硅单晶棒运输冷却车装置,其特征在于所述车架上的导轨为导杆形式,所述固定套其中一个半环背部连接有安装座,所述安装座中开有通孔,所述固定套其中一个半环通过所述安装座滑动套接在所述车架的导轨上,所述安装座的通孔壁上还开有螺孔,所述固定套可通过螺钉紧固在导轨上,所述另一个半环与安装在导轨上的半环转动连接。所述的硅单晶棒运输冷却车装置,其特征在于所述硅单晶护套底部还安装有平衡滑轮,所述硅单晶护套背面靠近车轮处开有小孔,平衡滑轮安装在小孔中。所述的硅单晶棒运输冷却车装置,其特征在于所述硅单晶护套在硅单晶棒放入时,硅单晶护套与硅单晶棒接触的位置处设有石棉。 本技术可以根据硅单晶棒的长度调节硅单晶棒固定套的高度;本技术在 操作全过程避免了硅单晶棒与金属车直接接触,因此避免了由于局部冷速过快而导致位错 增加以及硅单晶的隐裂的问题;同时本技术设计了平衡滑轮,因此可以实现直立横向 运动。附图说明图1为本技术结构示意图。 图2为本技术固定套安装示意图。 图3为本技术固定套示意图。 图4为本技术平衡滑轮示意图。具体实施方式硅单晶棒运输冷却车装置,包括有箱体形式的硅单晶护套3,硅单晶护套3上连接有车架7,车架7顶端设有车扶手4,硅单晶护套3底部安装有车轮l,硅单晶护套3底部还安装有平衡滑轮2,硅单晶护套3背面靠近车轮1处开有小孔,平衡滑轮2安装在小孔中。硅单晶护套3顶面开有开孔,硅单晶棒可沿着车架7通过开孔放入硅单晶护套3中,硅单晶护套3在硅单晶棒放入时,硅单晶护套3与硅单晶棒接触的位置处设有石棉。车架7上设有导轨8,还包括有固定套,固定套可为哈夫环形式,其中一个半环5滑动安装在导轨8上,另一个半环6与安装在导轨8的半环5转动连接。 车架上的导轨8可为导杆形式,固定套其中一个半环5背部可连接有安装座,安装座中开有通孔,固定套其中一个半环5通过安装座滑动套接在车架7的导轨8上,安装座的通孔壁上还开有螺孔,固定套可通过螺钉9紧固在导轨上,另一个半环6与安装在导轨8上的半环5通过销钉10转动连接。 从单晶炉中出来的硅单晶棒可以直接落在硅单晶棒运输冷却车装置中硅单晶护套的底部,本技术可为金属材料制成的金属车,因此其散热速度快,故在硅单晶棒与硅单晶护套的接触点增加石棉,避免硅单晶棒与金属的硅单晶护套直接接触,以防止冷却过程不均匀。 本技术可以有直立、横卧两种工位,可以实现直立横向、推拉两种运动方式。本技术操作时可避免操作人员接触硅单晶棒,大大提高了操作的安全性。本装置适用于直径100-200mm,长度300-1700mm的硅单晶棒的运输和冷却。本文档来自技高网...

【技术保护点】
硅单晶棒运输冷却车装置,包括有箱体形式的硅单晶护套,所述硅单晶护套上连接有车架,车架顶端设有车扶手,硅单晶护套底部安装有车轮,其特征在于:所述硅单晶护套顶面开有开孔,所述车架上设有朝向开孔的导轨,所述的导轨上安装有固定套,硅单晶棒可沿着车架上导轨与固定套穿过开孔放入硅单晶护套中。

【技术特征摘要】
硅单晶棒运输冷却车装置,包括有箱体形式的硅单晶护套,所述硅单晶护套上连接有车架,车架顶端设有车扶手,硅单晶护套底部安装有车轮,其特征在于所述硅单晶护套顶面开有开孔,所述车架上设有朝向开孔的导轨,所述的导轨上安装有固定套,硅单晶棒可沿着车架上导轨与固定套穿过开孔放入硅单晶护套中。2. 根据权利要求1所述的硅单晶棒运输冷却车装置,其特征在于所述固定套可为哈 夫环形式,其中一个半环滑动安装在所述导轨上,另一个半环与安装在导轨的半环转动连 接。3. 根据权利要求1及2所述的硅单晶棒运输冷却车装置,其特征在于所述车架上的 导轨为导杆形式,...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘天贵马青李春雷高熙礼
申请(专利权)人:合肥景坤新能源有限公司
类型:实用新型
国别省市:34[中国|安徽]

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