一种基于分离式扇形谐振腔的介电性能测试系统及方法技术方案

本发明专利技术提供一种基于分离式扇形谐振腔的介电性能测试系统及方法，属于微波测试技术领域。区别于现有的分离式圆柱谐振器的结构，本发明专利技术采用一个扇形的分离式柱形谐振腔，同时在分离式谐振器的两表面边缘切断出一条缝隙以抑制杂模，最终实现了工作模式附近干扰模式的完全抑制，在宽频率范围内得到一个比较“纯净”的TE<subgt;0n1</subgt;模式频谱，单个谐振腔即可实现TE<subgt;011</subgt;～TE<subgt;081</subgt;八个模式的测量。除此之外，本发明专利技术的谐振腔的样品测试区域不到传统圆柱腔的五分之一，因此对应的待测样品尺寸也缩小了原来的五分之一以下，可以有效降低待测样品的加工成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微波测试，具体涉及一种基于分离式扇形谐振腔的介电性能测试系统及方法。

技术介绍

1、复介电常数的精确测量对于材料的合成、开发以及在微波电路和设备设计中的应用至关重要。随着高频电子信息技术的迅猛发展，对应用于宽频带范围内低损耗、低成本薄片和薄膜等材料的需求大幅增加，精确测量薄片和薄膜的复介电常数对其实际应用变得至关重要。过去几十年以来，传输/反射法和谐振法等各种介电常数测量方法得到了很好的发展。其中，具有高q值的分离式圆柱谐振腔(scr)方法因其高精度而常用于测量薄片和薄膜。根据scr的直径与高度之比，可将其简单分为te01p模式scr和te0n1模式scr，因为后者的灵敏度更高，使得后者通常比前者更适合测量薄片和薄膜。而te0n1模式scr之所以显示出更高的灵敏度，一部分原因是样品体积所占比例较大，一部分原因是te0n1模式的电场分布更集中于样品中心区域。

2、scr的工作模式te0n1并非基频模式，通常在其频率附近伴有一些干扰模式，主要是简并模式tm1n1和非零方位角模式temn1(m≠0)模式。近年来国内外对分离式圆柱谐振器中本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于分离式扇形谐振腔的介电性能测试系统，其特征在于，包括扇形分离式谐振腔、耦合装置、高度调节装置、支撑部件、矢量网络分析仪和计算机；

2.如权利要求1所述的介电性能测试系统，其特征在于，扇形空腔圆心角α应避免能整除360°的角度，且α＜90°。

3.如权利要求2所述的介电性能测试系统，其特征在于，扇形空腔圆心角α为70°。

4.如权利要求1所述的介电性能测试系统，其特征在于，扇形空腔的半径b由模式频率确定。

5.如权利要求1所述的介电性能测试系统，其特征在于，所述扇形空腔的导体平面采用黄铜加工，且内壁镀银。>

6.如权利要...

【技术特征摘要】

1.一种基于分离式扇形谐振腔的介电性能测试系统，其特征在于，包括扇形分离式谐振腔、耦合装置、高度调节装置、支撑部件、矢量网络分析仪和计算机；

2.如权利要求1所述的介电性能测试系统，其特征在于，扇形空腔圆心角α应避免能整除360°的角度，且α＜90°。

3.如权利要求2所述的介电性能测试系统，其特征在于，扇形空腔圆心角α为70°。

4.如权利要求1所述的介电性能测试系统，其特征在于，扇形空腔的半径b由模式频率确定。

5.如权利要求1所述的介电性能测试系统，其特征在于，所述扇形空腔的导体平面采用黄铜加工，且内壁镀银。

6.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：余承勇，冉璇，卢泓霖，冯天琦，陈天润，龙嘉威，高勇，张云鹏，高冲，李恩，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：