【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体领域，特别是涉及一种辐射器件及其制备方法、光声传感器。
技术介绍
1、光声传感器可以实现基于脉冲辐射能量到声音的转换，可以使用光声效应检测气体的浓度。检测灵敏度不受到传感器尺寸的制约，在小型化及成本控制方面有更大的发展空间，在气体浓度测量方面的市场有望进一步扩大。
2、现有的光声传感器中大部分采用单辐射源的设计，一次只能测量一种气体组分的浓度，并且，光声传感器得到的信息有限，测量结果受到外界环境波动、气体成分复杂等因素影响较大。
3、因此，如何解决上述技术问题应是本领域技术人员重点关注的。
技术实现思路
1、本申请的目的是提供一种辐射器件及其制备方法、光声传感器，以提高单种气体组分浓度测量的抗混叠能力，以及可以同时测量多种气体组分的浓度。
2、为解决上述技术问题，本申请提供一种辐射器件，包括：
3、第一衬底，具有第一空腔和支撑体；所述第一空腔的数量至少为两个；
4、辐射源，设于所述支撑体上、与所述第一空腔对应设置，...
【技术保护点】
1.一种辐射器件，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的辐射器件，其特征在于，所述滤光部件还包括：
3.如权利要求1所述的辐射器件，其特征在于，所述滤光部件还包括：
4.如权利要求1所述的辐射器件，其特征在于，所述微结构的高度等于所述主体层的厚度。
5.如权利要求1所述的辐射器件，其特征在于，所述微结构的高度小于所述主体层的厚度。
6.如权利要求5所述的辐射器件，其特征在于，所述微结构的顶端与所述主体层的上表面齐平；或，
7.如权利要求5所述的辐射器件，其特征在于，所述主体层完全包覆所述微结构
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【技术特征摘要】
1.一种辐射器件，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的辐射器件，其特征在于，所述滤光部件还包括：
3.如权利要求1所述的辐射器件，其特征在于，所述滤光部件还包括：
4.如权利要求1所述的辐射器件，其特征在于，所述微结构的高度等于所述主体层的厚度。
5.如权利要求1所述的辐射器件，其特征在于，所述微结构的高度小于所述主体层的厚度。
6.如权利要求5所述的辐射器件，其特征在于，所述微结构的顶端与所述主体层的上表面齐平；或，
7.如权利要求5所述的辐射器件，其特征在于，所述主体层完全包覆所述微结构。
8.如权利要求1所述的辐射器件，其特征在于，所述反射部件为分布式布拉格反射镜。
9.如权利要求1所述的辐射器件，其特征在于，多个所述辐射源呈矩形阵列、环状、蜂巢状的形式分布。
10.如权利要求1至9任一项所述的辐射器件，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：熊笔锋，
申请(专利权)人：觉芯电子无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：
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