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辐射器件及其制备方法、光声传感器技术
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文档序号:41395339
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本申请提供一种辐射器件及其制备方法、光声传感器。辐射器件包括具有第一空腔和支撑体的第一衬底;第一空腔的数量至少为两个;辐射源设于支撑体上、与第一空腔对应设置,用于产生宽带辐射;滤光部件设于每个辐射源上方;各个滤光部件允许透过辐射的中心波长不...
该专利属于觉芯电子(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过觉芯电子(无锡)有限公司授权不得商用。
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