电加热型薄膜吸气剂及其制备方法技术

本发明专利技术提出一种电加热型薄膜吸气剂及其制备方法，该电加热型薄膜吸气剂由基底材料和表面的吸气材料组成，基底材料经无机复合酸清洗处理后真空烘干，然后在基底材料表面物理气相沉积制备一层或多层吸气材料，最后将其进行真空退火，得到电加热型薄膜吸气剂。该制备方法工艺简单、可操作性强，制备的电加热型薄膜吸气剂具有柔性，结构简单轻巧，便于装配，膜基结合力好，可独立激活，吸气性能高的特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气体吸附，具体涉及一种电加热型薄膜吸气剂及其制备方法。

技术介绍

1、在电真空器件的制造、封装及使用过程中会在器件内部产生活性气体，例如h2、co、co2、ch4、h2o等。这些活性气体主要来源于器件本身的残余气体、管壳与封装材料的放气、管壳渗气和器件漏气，它们会对mems器件造成不同程度的影响。例如，真空度降低导致红外传感器测定困难，残余的活性气体会降低谐振式微型电场传感器的品质因数和信噪比等。

2、传统的解决措施是在器件内部放置块体吸气剂，传统的块体吸气剂因为其体积较大，并且在外力的作用下容易有小颗粒脱落，导致器件短路，大幅降低器件性能，缩短器件的寿命，不适用于小型化真空器件。薄膜吸气剂具有尺寸精度高、牢靠度高、体积小、器件级与晶圆级均适用等优点，满足真空器件小型化的发展需求。由于器件管壳或盖帽大多为异形件，目前直接在其表面物理气相沉积制备薄膜的方式多会出现膜厚不均匀的现象，制备效率较低，并且镀膜过程要设计工装保护非镀膜区域，增加了经济成本。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电加热型薄膜吸气剂的制备方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述电加热型薄膜吸气剂的制备方法，其特征在于：所述基体材料为W、Ta、Mo、Nb、镍铬合金、Pt或Cu。

3.如权利要求1或2所述电加热型薄膜吸气剂的制备方法，其特征在于：所述基体材料厚度为10-500μm。

4.如权利要求1或2所述电加热型薄膜吸气剂的制备方法，其特征在于：所述无机复合酸清洗液为HF和HNO3的水溶液，其中氢氟酸的体积百分数为1％～10％，硝酸的体积百分数为1％～10％。

5.如权利要求1或2所述电加热型薄膜吸气剂的制备方法，其特征在于：所述酸洗处理...

【技术特征摘要】

1.一种电加热型薄膜吸气剂的制备方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述电加热型薄膜吸气剂的制备方法，其特征在于：所述基体材料为w、ta、mo、nb、镍铬合金、pt或cu。

3.如权利要求1或2所述电加热型薄膜吸气剂的制备方法，其特征在于：所述基体材料厚度为10-500μm。

4.如权利要求1或2所述电加热型薄膜吸气剂的制备方法，其特征在于：所述无机复合酸清洗液为hf和hno3的水溶液，其中氢氟酸的体积百分数为1％～10％，硝酸的体积百分数为1％～10％。

5.如权利要求1或2所述电加热型薄膜吸气剂的制备方法，其特征在于：所述酸洗处理时间为30s～3min。

6.如权利要求1或2所述电加热型薄膜吸气剂的制备方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴华亭，熊玉华，李洋，徐晓强，郭德宇，游孟园，张文宇，
申请(专利权)人：有研工程技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：