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本发明提出一种电加热型薄膜吸气剂及其制备方法，该电加热型薄膜吸气剂由基底材料和表面的吸气材料组成，基底材料经无机复合酸清洗处理后真空烘干，然后在基底材料表面物理气相沉积制备一层或多层吸气材料，最后将其进行真空退火，得到电加热型薄膜吸气剂。该...
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