【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆清洗设备，具体为一种晶圆倒料装置。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，晶圆制造工艺复杂，拥有很多工序，不同工序中使用了不同的化学材料，通常会在晶圆表面残留化学剂、颗粒、金属等杂质，因此需要对晶圆进行清洗。晶圆在传输过程中了，为了传输的便利性，通常都是几十块晶圆一起放置到晶圆盒内，但是有些清洗过程，为了更高的清洗效果，需要不带盒进行清洗，此时就需要将晶圆从晶圆盒内取出。
2、公开号为cn103904010b的一种晶圆传送装置，其在使用中暴露出以下缺陷：
3、上述晶圆传送装置没有很好地对晶圆进行取出的自动化设备，因此在对晶圆从晶圆盒内取出进行输送时降低了工作效率，所以急需一种方便将晶圆从晶圆盒内取出的晶圆倒料装置。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种晶圆倒料装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆倒料装置，包括固定框，所述固定框外壁相接触面的两侧分别安装有驱动机构和吸附机构，所述驱动机构包括轴承，所述轴承设置有两个，两所述轴承分别固定连接在所述固定框较长一面内侧和外侧靠近顶端的中间，两所述轴承内环内壁固定连接有连接柱，所述吸附机构包括第一连接臂，所述第一连接臂设置在所述固定框较长一面的外侧靠近顶端的中间，所述固定框较长一面的外侧中间设置有限位组件，所述连接柱贯穿所述固定框的外侧并和所述第一连接臂相转动连接，所述第一连接臂的一端转动连接有第二连接臂，所述第二
3、优选的，所述限位组件包括滑轨，所述滑轨固定连接在所述固定框较长一面的外侧中间，所述固定框通过滑轨滑动连接有相适配的滑动块，所述滑动块远离所述固定框的一侧开设有限位槽，所述限位槽和所述第二连接臂相适配。
4、优选的，所述固定框较短一面的外侧中间固定连接有固定板，所述固定板的顶部固定连接有气缸，所述气缸的输出端贯穿所述固定框内侧固定连接有齿块，所述连接柱位于所述固定框内部的一端固定连接有齿轮，所述齿轮和所述齿块相齿接。
5、优选的，所述固定框的底部中间两端分别固定连接有支撑柱，所述支撑柱的底部固定连接有底板，所述底板的顶部安装有输送机构。
6、优选的，所述输送机构包括放置筒和输送带，所述放置筒固定连接在所述底板的顶部中间一端，所述输送带固定连接在所述底板的顶部中间，所述底板的底部四周分别安装有底座。
7、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
8、该晶圆倒料装置，通过气缸工作带动齿块移动，通过齿块移动带动连接柱和齿轮转动，通过连接柱转动带动第一连接臂转动，通过第一连接臂转动带动第二连接臂转动，通过在第二连接臂的底部安装电动伸缩杆，在电动伸缩杆的输出端固定连接吸盘，通过吸盘将放置筒内部的晶圆吸附，最终放置到输送带上进行输送，这样提高了工作效率。
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1.一种晶圆倒料装置，包括固定框(1)，其特征在于：所述固定框(1)外壁相接触面的两侧分别安装有驱动机构(7)和吸附机构(6)，所述驱动机构(7)包括轴承(706)，所述轴承(706)设置有两个，两所述轴承(706)分别固定连接在所述固定框(1)较长一面内侧和外侧靠近顶端的中间，两所述轴承(706)内环内壁固定连接有连接柱(705)，所述吸附机构(6)包括第一连接臂(601)，所述第一连接臂(601)设置在所述固定框(1)较长一面的外侧靠近顶端的中间，所述固定框(1)较长一面的外侧中间设置有限位组件，所述连接柱(705)贯穿所述固定框(1)的外侧并和所述第一连接臂(601)相转动连接，所述第一连接臂(601)的一端转动连接有第二连接臂(602)，所述第二连接臂(602)的底端固定连接有电动伸缩杆(603)，所述电动伸缩杆(603)的输出端固定连接有吸盘(604)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆倒料装置，其特征在于：所述限位组件包括滑轨(606)，所述滑轨(606)固定连接在所述固定框(1)较长一面的外侧中间，所述固定框(1)通过滑轨(606)滑动连接有相适配的滑动
3.根据权利要求1所述的一种晶圆倒料装置，其特征在于：所述固定框(1)较短一面的外侧中间固定连接有固定板(701)，所述固定板(701)的顶部固定连接有气缸(702)，所述气缸(702)的输出端贯穿所述固定框(1)内侧固定连接有齿块(703)，所述连接柱(705)位于所述固定框(1)内部的一端固定连接有齿轮(704)，所述齿轮(704)和所述齿块(703)相齿接。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆倒料装置，其特征在于：所述固定框(1)的底部中间两端分别固定连接有支撑柱(4)，所述支撑柱(4)的底部固定连接有底板(5)，所述底板(5)的顶部安装有输送机构(3)。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆倒料装置，其特征在于：所述输送机构(3)包括放置筒(301)和输送带(302)，所述放置筒(301)固定连接在所述底板(5)的顶部中间一端，所述输送带(302)固定连接在所述底板(5)的顶部中间，所述底板(5)的底部四周分别安装有底座(2)。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆倒料装置，包括固定框(1)，其特征在于：所述固定框(1)外壁相接触面的两侧分别安装有驱动机构(7)和吸附机构(6)，所述驱动机构(7)包括轴承(706)，所述轴承(706)设置有两个，两所述轴承(706)分别固定连接在所述固定框(1)较长一面内侧和外侧靠近顶端的中间，两所述轴承(706)内环内壁固定连接有连接柱(705)，所述吸附机构(6)包括第一连接臂(601)，所述第一连接臂(601)设置在所述固定框(1)较长一面的外侧靠近顶端的中间，所述固定框(1)较长一面的外侧中间设置有限位组件，所述连接柱(705)贯穿所述固定框(1)的外侧并和所述第一连接臂(601)相转动连接，所述第一连接臂(601)的一端转动连接有第二连接臂(602)，所述第二连接臂(602)的底端固定连接有电动伸缩杆(603)，所述电动伸缩杆(603)的输出端固定连接有吸盘(604)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆倒料装置，其特征在于：所述限位组件包括滑轨(606)，所述滑轨(606)固定连接在所述固定框(1)较长一面的外侧中间，所述固定框(1)通过滑轨(606)滑动连接有相适配的滑动块...
【专利技术属性】
技术研发人员：殷国海，
申请(专利权)人：江苏芯缘半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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