【技术实现步骤摘要】
本技术涉及夹具，尤其涉及三爪卡盘及数控机床。
技术介绍
1、在半导体制造中，化学气相沉积是常用的一种镀膜工艺，而在晶圆表面镀膜时，就需要将晶圆置于气体分配盘的下方，镀膜过程中必须确保气体分配盘的密封性良好。因此气体分配盘在生产制造过程中就需要通过抛光对密封面进行加工，以满足相应的密封要求。而三爪卡盘在抛光作业中用于夹持固定气体分配盘，并确保工件密封面露出，以顺利进行抛光作业。
2、现有技术中，三爪卡盘包括主体，主体上滑动连接有环设的多个卡爪，卡爪能够沿着主体上开设的滑槽滑动，以使得多个卡爪能够彼此靠近或远离，从而实现对工件的夹紧或松脱。为了方便夹持工件，主体上会设置齿轮组等联动机构，联动机构能够同时驱动多个卡爪移动，以使得一次性就可以将多个卡爪均朝向工件移动，快速完成对工件的夹持。
3、但是上述夹持模式下，由于单个卡爪的位置受到联动机构的限制，不能进行单独调节，容易导致部分卡爪不能与工件形成有效接触，致使对工件的夹持效果较差，甚至夹持失效。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种三爪卡盘及数控机床，解决了现有技术中由于三爪卡盘在联动机构的限制下，无法进行单独调节而导致部分卡爪可能无法与工件形成有效接触，致使对工件的夹持效果较差甚至夹持失效的问题。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、第一方面，本技术提供三爪卡盘，其包括：
4、主体；
5、多个卡块，间隔环设于所述主体并与所述主体滑动连接，每个所述卡
6、联动组件，设置于所述主体并与所述卡块连接，所述联动组件用于带动多个所述卡块彼此靠近或远离。
7、可选地，所述联动组件包括：
8、联动盘，转动连接于所述主体，所述联动盘对应所述卡块的位置处均开设有弧形槽；
9、其中，每个所述卡块上均设有联动杆，所述联动杆远离所述卡块的一端伸入所述弧形槽内并与所述弧形槽滑动连接。
10、可选地，所述联动组件还包括：
11、驱动件，与所述联动盘连接以驱动所述联动盘旋转。
12、可选地，所述联动组件还包括：
13、传动部，与所述驱动件相连接；
14、其中，所述联动盘的外周壁环设多个与所述传动部啮合的驱动齿。
15、可选地，所述卡块开设有滑槽；所述调节组件包括：
16、滑块，设置于所述卡爪并滑动连接于所述滑槽内；以及
17、调节螺杆，转动连接于所述卡块并穿过所述滑块，所述滑块与所述调节螺杆螺纹连接。
18、可选地，所述调节组件还包括：
19、锁定螺钉，螺纹连接于所述卡块并伸入所述滑槽内，所述锁定螺钉伸入所述滑槽内的一端选择性地与所述卡爪抵接。
20、可选地，所述卡块的表面间隔分布有多个刻度，所述卡爪设有指向所述刻度的箭头。
21、可选地，所述卡爪呈台阶状。
22、可选地，所述卡爪的侧面设有与工件抵接的弧面。
23、第二方面，本技术提供一种数控机床，其包括：
24、机架；
25、抛光机，设置于所述机架；以及
26、如第一方面中任一项所述三爪卡盘，设置于所述机架。
27、本技术的有益效果：
28、第一方面，在夹持工件前，先利用调节组件对每个卡爪相对于对应卡块的位置进行调节，完成调节后，再利用联动组件同时带动多个卡块移动，以使得多个卡块能够带动多个卡爪彼此靠近，从而就可以对夹持空间内的工件进行夹持固定。以此该三爪卡盘在使用时，不仅能够通过联动组件实现多个卡块和卡爪的同步动作，还能够利用调节组件单独对卡爪的位置进行调节，确保多个卡爪同时与工件形成有效接触，从而确保夹持的有效性，降低夹持失效的可能性。同时经过对每个卡爪的单独调节，也能够使得夹持空间能够适配于不同类型的工件，不仅能够提高三爪卡盘整体的适应能力，还能够提高夹持精度，确保卡爪能够精准与工件形成抵接。
29、第二方面，该数控机床在使用时，利用该三爪卡盘不仅能够对各种工件实现精准夹持固定，再利用抛光机对工件进行抛光处理。该三爪卡盘能够有效确保工件的稳定性，确保抛光处理过程中工件不会发生晃动和偏移，从而有效提高了对工件的加工质量。
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1.三爪卡盘，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的三爪卡盘，其特征在于，所述联动组件(2)包括：
3.根据权利要求2所述的三爪卡盘，其特征在于，所述联动组件(2)还包括：
4.根据权利要求3所述的三爪卡盘，其特征在于，所述联动组件(2)还包括：
5.根据权利要求1至4中任一项所述的三爪卡盘，其特征在于，所述卡块(3)开设有滑槽(31)；所述调节组件(5)包括：
6.根据权利要求5所述的三爪卡盘，其特征在于，所述调节组件(5)还包括：
7.根据权利要求1至4中任一项所述的三爪卡盘，其特征在于，所述卡块(3)的表面间隔分布有多个刻度，所述卡爪(4)设有指向所述刻度的箭头。
8.根据权利要求1至4中任一项所述的三爪卡盘，其特征在于，所述卡爪(4)呈台阶状。
9.根据权利要求1至4中任一项所述的三爪卡盘，其特征在于，所述卡爪(4)的侧面设有与工件抵接的弧面。
10.数控机床，其特征在于，包括：
【技术特征摘要】
1.三爪卡盘，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的三爪卡盘，其特征在于，所述联动组件(2)包括：
3.根据权利要求2所述的三爪卡盘，其特征在于，所述联动组件(2)还包括：
4.根据权利要求3所述的三爪卡盘，其特征在于，所述联动组件(2)还包括：
5.根据权利要求1至4中任一项所述的三爪卡盘，其特征在于，所述卡块(3)开设有滑槽(31)；所述调节组件(5)包括：
6.根据权利要求5所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，苏学周，昝小磊，
申请(专利权)人：宁波江丰芯创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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