成膜方法和成膜装置以及永磁铁和永磁铁的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及成膜方法和成膜装置以及永磁铁和永磁铁的制造方法，提供一种真空处理装置，其具有：可真空排气的处理室，加热所述处理室内的加热手段，以及在所述处理室内将散块体蒸发材料和被处理物间隔配置并保持的保持手段；保持所述被处理物的保持手段由下述部件构成，其允许因加热所述处理室内而蒸发的蒸发材料通过，并可并列设置多个所述被处理物。所述保持手段的构成使所述金属蒸发材料和被处理物在上下方向上间隔配置。所述保持手段由不与因加热所述处理室内而蒸发的材料发生反应的材料构成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，尤其涉及 下述永磁铁及永磁铁的制造方法，其在铁一硼一稀土系的烧结磁铁表面形成至少 含有Dy、 Tb中的一种的金属蒸镀膜，通过在规定温度下实施热处理，至少使 Dy、 Tb中的一方扩散到烧结磁铁的晶界相内而形成；也涉及适合在上述磁铁表 面高速形成至少含有Dy、 Tb中的一种的金属蒸镀膜的成膜方法及成膜装置。
技术介绍
由于Nd—Fe—B系烧结磁铁(钕磁铁)是由铁和价格低廉资源丰富、可稳定提 供的Nd、 B元素组合而成的，可廉价制造同时又具有高磁特性(最大磁能积为铁 素体系磁铁的10倍)，因而被用于多种产品。近年来，在混合型汽车用的马达及 发电机上的采用也取得了进展。另外由于Nd—Fe—B系烧结磁铁的居里温度仅 为30(TC，某些采用该磁铁的产品有时会升温超过规定温度， 一旦升温超过规定 温度，会产生因热而退磁的问题。因此，当获得Nd—Fe—B系烧结磁铁时，虽然也可考虑添加Dy及Tb，由 于其具有比Nd大的4f电子的磁各向异性，带有与Nd相同的负的稳态因子，因 而可大大提高主相的结晶磁各向异性，但由于Dy、 Tb采用的是费里磁结构，在 主相晶格中呈与Nd反向的螺旋排列，因本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空处理装置，其特征在于，具有：　　可真空排气的处理室，加热所述处理室内的加热手段，以及在所述处理室内将散块体蒸发材料和被处理物间隔配置并保持的保持手段；　　保持所述被处理物的保持手段由下述部件构成，其允许因加热所述处理室内而蒸发的蒸发材料通过，并可并列设置多个所述被处理物。

【技术特征摘要】
JP 2005-3-18 2005-0800211.一种真空处理装置，其特征在于，具有可真空排气的处理室，加热所述处理室内的加热手段，以及在所述处理室内将散块体蒸发材料和被处理物间隔配置并保持的保持手段；保持所述被处理物的保持手段由下述部件构成，其允许因加热所述处理室内而蒸发的蒸发材料通过，并可并列...

【专利技术属性】
技术研发人员：永田浩，新垣良憲，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：JP[日本]