【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于平板显示器(FPD)工程领域，特别涉及一种玻璃基板的蚀刻装置。
技术介绍
在信息化快速发展的现代社会里，FPD技术正在日益革新，同时紧锣密鼓地推进着其繁 衍产品事业的研究工作。因此，在制作FPD装置时不可缺少的玻璃基板厚度变薄的技术也在 不断地发展着。以前的制作FPD板变薄的技术，是通过机械的研磨方法和利用酸性粉药液的 化学性湿蚀方法。随着信息化社会的不断发展，与之一起发展的
是移动FPD领域， 而且越来越需求超薄型、超节电型、超美观型的先进的FPD板。对于上述的化学性湿蚀方式， 参考图1，以前的技术是以在玻璃板105侧面布置喷嘴104而喷射到玻璃面的蚀刻装备为主， 即将玻璃基板垂直固定住，从侧面往玻璃面上垂直喷射的方式。由于该方式是给玻璃基板面 上施加垂直打击力，因此很薄的玻璃自身强度下降，从而破损几率大，同时从实际测试值来 看无法进行0.5mm以下的蚀刻作业，因此制作超薄型板时受到限制。图2为现有化学性湿蚀 蚀刻装备的药液循环回路图。在进行化学反应的反应室IOO里反应出来的蚀刻药液和副产物 污泥，通过管道集结到存储罐101，其大部分污泥...
【技术保护点】
一种玻璃基板蚀刻装置，包括反应室、位于反应室内用于将玻璃基板垂直固定住的固定装置、与反应室相通的药液存储罐和与药液存储罐相通的药液循环系统，药液循环系统包括若干个喷嘴，其特征在于：所述喷嘴在每块玻璃基板的上方均布成一排。
【技术特征摘要】
1、一种玻璃基板蚀刻装置，包括反应室、位于反应室内用于将玻璃基板垂直固定住的固定装置、与反应室相通的药液存储罐和与药液存储罐相通的药液循环系统，药液循环系统包括若干个喷嘴，其特征在于所述喷嘴在每块玻璃基板的上方均布成一排。2、 根据权利要求1所述的玻璃基板蚀刻装置，其特征在于所述药液循环系统还包括 进口与药液存储罐相通的总输入管路、过滤系统和总输出管路，过滤系统包括第一输入管路 和第二输入管路，总输入管路的出口分别与第一输入管路的进口、第二输入管路的进口相连， 第一输入管路上依次串联有阀门VA、第一过滤装置组、阀门VC，第二输入管路上依次串联 有阀门VB、第二过滤装置组、阀门VD,第一输入管路的出口、第二输入管路的出口与总输 出管路的进口相连，位于每块玻璃基板相应位置处的上方设有一根与总输出管路相连的分支 输出管路，所述喷嘴安装在分支输出管路上。3、 根据权利要求2所述的玻璃基板蚀刻装置，其特征在于所述过滤系统还包括过滤装置再生回路，所述过滤装置再生回路包括反洗输入管路和反洗输出管路，所述反洗输入管路通过串联有阀门VE的管路与阀门VC和第一过滤装置组之间的第一输入管路相连，反洗输 入管路通过串联有阀门VF的管路与阀门VD和第二过滤装置组之间的第二输入管路相连，第 一过滤装置组与阀门VA之间的第一输入管路通过串联有阀门VG的管路与反洗输出管路相 连，第二过滤装置组与阀...
【专利技术属性】
技术研发人员：孔正镐，南重根，
申请(专利权)人：满纳韩宏电子科技南京有限公司，烟台韩宏电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]
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